公开(公告)号：DE602006012653D1

公开(公告)日：2010-04-15

申请号：DE602006012653

申请日：2006-01-13

Applicant: IBM ,  KRUSIN ELBAUM LIA ,  NEWNS DENNIS M

Inventor： KRUSIN-ELBAUM LIA ,  NEWNS DENNIS M

IPC: H01L45/00 ,  H01L27/24

公开(公告)号：DE112012002454T5

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：DE112012002454

申请日：2012-07-02

Applicant: IBM

Inventor： SOLOMON PAUL M ,  ELMEGREEN BRUCE G ,  MARTYNA GLENN J ,  ROSSNAGEL STEPHEN M ,  NEWNS DENNIS M

IPC: H01L41/00

Abstract: Ein piezoelektronischer Transistor (PET) mit 4 Anschlüssen, welcher ein piezoelektrisches (PE) Material, das zwischen einer ersten und zweiten Elektrode angeordnet ist; ein Isolatormaterial, das auf der zweiten Elektrode angeordnet ist; eine dritte Elektrode, die auf dem Isolatormaterial angeordnet ist und ein piezoresistives (PR) Material umfasst, das zwischen der dritten Elektrode und einer vierten Elektrode angeordnet ist. Eine über die erste und zweite Elektrode angelegte Spannung bewirkt, dass ein Druck von dem PE Material durch das Isolatormaterial auf das PR Material ausgeübt wird, wobei der elektrische Widerstand des PR Materials von dem Druck abhängt, der von dem PE Material ausgeübt wird. Die erste und zweite Elektrode sind von der dritten und vierten Elektrode elektrisch isoliert. Ebenfalls offenbart werden Logikeinheiten, die aus PETs mit 4 Anschlüssen hergestellt werden, und ein Verfahren zur Herstellung eines PET mit 4 Anschlüssen.