公开(公告)号：DE69016113D1

公开(公告)日：1995-03-02

申请号：DE69016113

申请日：1990-04-10

Applicant: IBM

Inventor： NMN CHENG SHIRLEY ,  ARAPS CONSTANCE JOAN ,  ARNOLD ALLEN JOSEPH ,  COFFIN JEFFREY THOMAS ,  NGUYEN LUU THANH

IPC: C11D7/50 ,  C23F11/12 ,  C23F11/14 ,  C23F15/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H05K3/26

公开(公告)号：DE69016113T2

公开(公告)日：1995-06-29

申请号：DE69016113

申请日：1990-04-10

Applicant: IBM

Inventor： NMN CHENG SHIRLEY ,  ARAPS CONSTANCE JOAN ,  ARNOLD ALLEN JOSEPH ,  COFFIN JEFFREY THOMAS ,  NGUYEN LUU THANH

IPC: C11D7/50 ,  C23F11/12 ,  C23F11/14 ,  C23F15/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H05K3/26