公开(公告)号：DE69023347T2

公开(公告)日：1996-05-30

申请号：DE69023347

申请日：1990-12-21

Applicant: IBM

Inventor： GRESCHNER JOHANN DR ,  NONNENMACHER MARTIN DR ,  WOLTER OLAF DR

IPC: G01B7/34 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/16 ,  H01J9/14 ,  H01J37/28

公开(公告)号：DE69023347D1

公开(公告)日：1995-12-07

申请号：DE69023347

申请日：1990-12-21

Applicant: IBM

Inventor： GRESCHNER JOHANN DR ,  NONNENMACHER MARTIN DR ,  WOLTER OLAF DR

IPC: G01B7/34 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/16 ,  H01J9/14 ,  H01J37/28