公开(公告)号：JPS5496025A

公开(公告)日：1979-07-30

申请号：JP11247178

申请日：1978-09-14

Applicant: IBM

Inventor： JIEEMUZU ARUBAATO KIYAROSAASU ,  JIEEMUZU EKONOMII ,  OOGASUTASU SENIZA OOANO

IPC: H01L21/30 ,  G03C1/72 ,  G03F7/022 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H05K3/06

公开(公告)号：JPS561933A

公开(公告)日：1981-01-10

申请号：JP2746480

申请日：1980-03-06

Applicant: IBM

Inventor： RICHIYAADO DEEBITSUDO BARANSON ,  NIKORASU JIEFURIISU KUREKATSUK ,  BAABARA DEIAN GURANTO ,  OOGASUTASU SENIZA OOANO

IPC: G03C1/72 ,  G03F7/016 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039