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公开(公告)号：DE102012214181A1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：DE102012214181
申请日：2012-08-09
Applicant: IBM
Inventor： HOFRICHTER JENS , PAUL PHILIP , HOLZNER FELIX , HORST FOLKERT
Abstract: Die Erfindung betrifft vor allem einen Rastersondenmikroskop-Hebelarm (10), der einen Schaft (15) und einen elektromagnetischen Sensor (20) mit einer detektierbaren elektromagnetischen Eigenschaft umfasst, die sich bei Deformation des Schafts ändert. Ferner betrifft die Erfindung ein Rastersondenmikroskop, eine Detektionsvorrichtung und ein Detektionsverfahren, das einen solchen Hebelarm verwendet.
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公开(公告)号：GB2493585B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：GB201207732
申请日：2012-05-03
Applicant: IBM
Inventor： HOFRICHTER JENS , PAUL PHILIP , HOLZNER FELIX , HORST FOLKERT
Abstract: An apparatus and method directed to a scanning probe microscopy cantilever. The apparatus includes body and an electromagnetic sensor having a detectable electromagnetic property varying upon deformation of the body. The method includes scanning the surface of a material with the cantilever, such that the body of the cantilever undergoes deformations and detecting the electromagnetic property varying upon deformation of the body of the cantilever.
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公开(公告)号：GB2493585A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：GB201207732
申请日：2012-05-03
Applicant: IBM
Inventor： HOFRICHTER JENS , PAUL PHILIP , HOLZNER FELIX , HORST FOLKERT
Abstract: The invention is notably directed to a scanning probe microscopy cantilever (10), comprising a body (15) and an electromagnetic sensor (20) having a detectable electromagnetic property varying upon deformation of the body. It further concerns a scanning probe microscope, a detection apparatus and a detection method using relying on such a cantilever. The sensor may comprise an optical waveguide and may comprise a closed loop ring resonator or racetrack resonator. The sensor 20 may be a Mach Zehnder interferometer.
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