公开(公告)号：GB2515217A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：GB201416222

申请日：2013-04-25

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS T ,  HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W ,  RIESS WALTER H

IPC: C25D13/04 ,  C25D13/02 ,  C25D13/22 ,  H01L21/768

Abstract: The present invention is notably directed to apparatuses and methods for positioning nano- objects (20) on a surface. The method comprises: providing (S10 S50) two surfaces (15, 17) including a first surface (15) and a second surface (17) in vis-Ã -vis, wherein at least one of the two surfaces exhibits one or more positioning structures (16, 16a) having dimensions on the nanoscale; and a ionic liquid suspension (30) of the nano-objects between the two surfaces, wherein each of the surfaces forms an electrical double layer with the ionic liquid suspension, each of the two surfaces having a same electrical charge sign; and letting (S60) nano-objects in the suspension position according to a potential energy (31) resulting from the electrical charge of the two surfaces and depositing (S70) one or more of the nano-objects on the first surface according to the positioning structures, by shifting minima (32) of the potential energy towards the first surface.

公开(公告)号：IN4834CHN2014A

公开(公告)日：2015-09-18

申请号：IN4834CHN2014

申请日：2014-06-25

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS T ,  HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W ,  RIESS WALTER HEINRICH

IPC: H01L21/768

Abstract: The present invention is notably directed to apparatuses and methods for positioning nano objects (20) on a surface. The method comprises: providing (S10 S50) two surfaces (15 17) including a first surface (15) and a second surface (17) in vis à vis wherein at least one of the two surfaces exhibits one or more positioning structures (16 16a) having dimensions on the nanoscale; and a ionic liquid suspension (30) of the nano objects between the two surfaces wherein each of the surfaces forms an electrical double layer with the ionic liquid suspension each of the two surfaces having a same electrical charge sign; and letting (S60) nano objects in the suspension position according to a potential energy (31) resulting from the electrical charge of the two surfaces and depositing (S70) one or more of the nano objects on the first surface according to the positioning structures by shifting minima (32) of the potential energy towards the first surface.

公开(公告)号：DE102013206755B4

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：DE102013206755

申请日：2013-04-16

Applicant: IBM

Inventor： HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W

IPC: B81C1/00 ,  G02F1/00 ,  H01L49/00

Abstract: Nanoprägelithographieverfahren, das die aufeinander folgenden Schritte aufweist: – Bereitstellen (S10) einer Form (100), die Strukturen (130) mit Abmessungen im Nanometerbereich auf einer Seite (101) der Form (100) aufweist, wobei die Strukturen (130) ein topographisches Muster (140) ausbilden; und – Bereitstellen einer thermisch zersetzbaren Polymerdünnschicht (210) auf einem Substrat (220) gegenüber der Seite (101) der Form (100), – wobei die Strukturen (130) über die Zersetzungstemperatur (Td) der Polymerdünnschicht (210) erwärmt werden; – Inkontaktbringen (S20) der Strukturen (130) mit der Polymerdünnschicht (210), um Abschnitte davon in Übereinstimmung mit den Strukturen (130) thermisch zu zersetzen (S30); und – Entfernen (S50) der Strukturen (130) von der Polymerdünnschicht (210).

公开(公告)号：DE112013001196T5

公开(公告)日：2014-11-20

申请号：DE112013001196

申请日：2013-04-25

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS T ,  HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W ,  RIESS WALTER HEINRICH

IPC: H01L21/768

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere Vorrichtungen und Verfahren zur Positionierung von Nanoobjekten (20) auf einer Oberfläche. Das Verfahren weist auf: Bereitstellen (S10 bis S50) zweier einander gegenüberliegender Oberflächen (15, 17) einschließlich einer ersten Oberfläche (15) und einer zweiten Oberfläche (17), wobei mindestens eine der zwei Oberflächen eine oder mehrere Positionierungsstrukturen (16, 16a) mit Abmessungen im Nanometerbereich aufweist; und einer ionischen Flüssigkeitssuspension (30) der Nanoobjekte zwischen den zwei Oberflächen, wobei jede der Oberflächen mit der ionischen Flüssigkeitssuspension eine elektrische Doppelschicht bildet, wobei jede der zwei Oberflächen ein selbes elektrisches Ladungsvorzeichen aufweist; und Sich-positionieren-lassen (S60) der Nanoobjekte in der Suspension einer Potenzialenergie (31) gemäß, die aus der elektrischen Ladung der zwei Oberflächen resultiert, und Abscheiden (S70) eines oder mehrerer der Nanoobjekte auf der ersten Oberfläche den Positionierungsstrukturen gemäß durch Verschieben von Minima (32) der Potenzialenergie zur ersten Oberfläche hin.

公开(公告)号：GB2501681A

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：GB201207464

申请日：2012-04-30

Applicant: IBM

Inventor： HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W

IPC: G03F7/00 ,  B29C33/02 ,  B29C33/38 ,  B29C35/02 ,  B82Y40/00

Abstract: A nanoimprint lithographic method uses a mold 100 which comprises a topographic pattern 140 formed by structures 130 having nanometer scale dimensions. The nanoscale structures are heated above a decomposition temperature (Td) of a thermally decomposable polymer film 210 such as poly (phthalaldehyde) which is disposed on a substrate 220 facing the mold. The structures are brought into contact with the polymer film to thermally decompose portions which correspond to the pattern of the structures and the structures are removed from the polymer film. There may be a material layer 120 with low thermal conductivity to thermally insulate the structures from the body of the mold. The structures may be brought into contact with the substrate 220 to cool the structures and prevent further thermal decomposition of the polymer layer 210 to give a very clean pattern.

公开(公告)号：CA2868577C

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CA2868577

申请日：2013-04-25

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS T ,  HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W ,  RIESS WALTER HEINRICH

IPC: H01L21/768

Abstract: The present invention is notably directed to apparatuses and methods for positioning nano- objects (20) on a surface. The method comprises: providing (S10 S50) two surfaces (15, 17) including a first surface (15) and a second surface (17) in vis-à-vis, wherein at least one of the two surfaces exhibits one or more positioning structures (16, 16a) having dimensions on the nanoscale; and a ionic liquid suspension (30) of the nano-objects between the two surfaces, wherein each of the surfaces forms an electrical double layer with the ionic liquid suspension, each of the two surfaces having a same electrical charge sign; and letting (S60) nano-objects in the suspension position according to a potential energy (31) resulting from the electrical charge of the two surfaces and depositing (S70) one or more of the nano-objects on the first surface according to the positioning structures, by shifting minima (32) of the potential energy towards the first surface.

公开(公告)号：DE112013001196B4

公开(公告)日：2016-04-14

申请号：DE112013001196

申请日：2013-04-25

Applicant: IBM

Inventor： DUERIG URS T ,  HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W ,  RIESS WALTER HEINRICH

IPC: H01L21/768 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  C25D13/02

Abstract: Verfahren zur Positionierung von Nanoobjekten (20) auf einer Oberfläche, wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen (S10 bis S50): zweier einander gegenüberliegender Oberflächen (15, 17) einschließlich einer ersten Oberfläche (15) und einer zweiten Oberfläche (17), wobei mindestens eine der zwei Oberflächen eine oder mehrere Positionierungsstrukturen (16, 16a) mit Abmessungen im Nanometerbereich aufweist; und einer ionischen Flüssigkeitssuspension (30) der Nanoobjekte zwischen den zwei Oberflächen, wobei die Suspension zwei elektrische Doppelschichten aufweist, die jeweils an einer Grenzfläche zu einer jeweiligen der zwei Oberflächen gebildet sind, wobei die elektrischen Oberflächenladungen der zwei Oberflächen dasselbe Vorzeichen haben; und Sich-positionieren-lassen (S60) der Nanoobjekte (20) in der Suspension entsprechend einer potentiellen Energie (31), die aus der elektrischen Ladung der zwei Oberflächen resultiert, und Abscheiden (S70) eines oder mehrerer der Nanoobjekte auf der ersten Oberfläche den Positionierungsstrukturen gemäß durch Verschieben von Minima (32) der potentiellen Energie zur ersten Oberfläche hin.

公开(公告)号：DE102013206755A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：DE102013206755

申请日：2013-04-16

Applicant: IBM

Inventor： HOLZNER FELIX ,  KNOLL ARMIN W

IPC: B81C1/00 ,  G02F1/00 ,  H01L49/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich insbesondere auf Nanoprägelithographievorrichtungen und -verfahren. Solche Verfahren weisen auf: Bereitstellen (S10): einer Form (100), die ein topographisches Muster (140) auf einer Seite (101) der Form aufweist, wobei das topographische Muster durch Strukturen (130) mit Abmessungen im Nanobereich ausgebildet wird; und einer thermisch zersetzbaren Polymerdünnschicht (210) wie zum Beispiel Poly(phthalaldehyd) auf einem Substrat (220) gegenüber der Seite der Form, wobei die Strukturen über eine Zersetzungstemperatur (Td) der Polymerdünnschicht erwärmt werden; Inkontaktbringen (S20) der Strukturen mit der Polymerdünnschicht, um Abschnitte davon in Übereinstimmung mit den Strukturen thermisch zu zersetzen; und Entfernen (S50) der Strukturen von der Polymerdünnschicht.

公开(公告)号：GB2493585B

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：GB201207732

申请日：2012-05-03

Applicant: IBM

Inventor： HOFRICHTER JENS ,  PAUL PHILIP ,  HOLZNER FELIX ,  HORST FOLKERT

IPC: G01Q70/16 ,  B82Y15/00 ,  B82Y35/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04

Abstract: An apparatus and method directed to a scanning probe microscopy cantilever. The apparatus includes body and an electromagnetic sensor having a detectable electromagnetic property varying upon deformation of the body. The method includes scanning the surface of a material with the cantilever, such that the body of the cantilever undergoes deformations and detecting the electromagnetic property varying upon deformation of the body of the cantilever.

公开(公告)号：GB2493585A

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：GB201207732

申请日：2012-05-03

Applicant: IBM

Inventor： HOFRICHTER JENS ,  PAUL PHILIP ,  HOLZNER FELIX ,  HORST FOLKERT

IPC: G01Q70/16 ,  B82Y15/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04

Abstract: The invention is notably directed to a scanning probe microscopy cantilever (10), comprising a body (15) and an electromagnetic sensor (20) having a detectable electromagnetic property varying upon deformation of the body. It further concerns a scanning probe microscope, a detection apparatus and a detection method using relying on such a cantilever. The sensor may comprise an optical waveguide and may comprise a closed loop ring resonator or racetrack resonator. The sensor 20 may be a Mach Zehnder interferometer.