公开(公告)号：DE69105753T2

公开(公告)日：1995-05-24

申请号：DE69105753

申请日：1991-02-01

Applicant: IBM

Inventor： CHANG KENNETH ,  CZORNYJ GEORGE ,  FAROOQ MUKTA ,  KUMAR ANANDA ,  PITTLER MARVIN ,  STEIMEL HEINZ

IPC: H01L23/12 ,  H01L21/48 ,  H01L21/768 ,  H05K3/00 ,  H05K3/18 ,  H05K3/38 ,  H05K3/46 ,  H01L23/538

公开(公告)号：DE69105753D1

公开(公告)日：1995-01-19

申请号：DE69105753

申请日：1991-02-01

Applicant: IBM

Inventor： CHANG KENNETH ,  CZORNYJ GEORGE ,  FAROOQ MUKTA ,  KUMAR ANANDA ,  PITTLER MARVIN ,  STEIMEL HEINZ

IPC: H01L23/12 ,  H01L21/48 ,  H01L21/768 ,  H05K3/00 ,  H05K3/18 ,  H05K3/38 ,  H05K3/46 ,  H01L23/538