公开(公告)号：FR2276095A1

公开(公告)日：1976-01-23

申请号：FR7516539

申请日：1975-05-21

Applicant: IBM

Inventor： PANTUSCO ANTHONY A ,  PINCKNEY WARREN J ,  SANTILLO GEORGE R JR ,  SCHARFF GERARD J

IPC: C30B15/30 ,  H01L21/208 ,  B01J17/20

公开(公告)号：DE2522611A1

公开(公告)日：1976-01-15

申请号：DE2522611

申请日：1975-05-22

Applicant: IBM

Inventor： PANTUSCO ANTHONY A ,  PINCKNEY WARREN J ,  SANTILLO JUN GEORGE R ,  SCHARFF GERARD J

IPC: C30B15/30 ,  H01L21/208 ,  B01J17/18