公开(公告)号：DE69220163D1

公开(公告)日：1997-07-10

申请号：DE69220163

申请日：1992-09-04

Applicant: IBM

Inventor： BABICH EDWARD D ,  GALLIGAN EILEEN A ,  GELORME JEFFREY D ,  MCGOUEY RICHARD P ,  NUNES SHARON L ,  PARASZCZAK JURIJ R ,  SERINO RUSSELL J ,  WITMAN DAVID F

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：DE69220163T2

公开(公告)日：1997-12-18

申请号：DE69220163

申请日：1992-09-04

Applicant: IBM

Inventor： BABICH EDWARD D ,  GALLIGAN EILEEN A ,  GELORME JEFFREY D ,  MCGOUEY RICHARD P ,  NUNES SHARON L ,  PARASZCZAK JURIJ R ,  SERINO RUSSELL J ,  WITMAN DAVID F

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30