公开(公告)号：WO2012121938A3

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：PCT/US2012027052

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM ,  XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/681 ,  G01B9/02091 ,  H01L23/544 ,  H01L24/75 ,  H01L24/81 ,  H01L24/94 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/8113 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/81

Abstract: A system for performing alignment of two wafers is disclosed. The system comprises an optical coherence tomography system and a wafer alignment system. The wafer alignment system is configured and disposed to control the relative position of a first wafer and a second wafer. The optical coherence tomography system is configured and disposed to compute coordinate data for a plurality of alignment marks on the first wafer and second wafer, and send that coordinate data to the wafer alignment system.

Abstract translation: 公开了一种用于执行两个晶片的对准的系统。 该系统包括光学相干断层扫描系统和晶片对准系统。 晶片对准系统被配置和设置成控制第一晶片和第二晶片的相对位置。 光学相干断层扫描系统被配置和设置为计算第一晶圆和第二晶圆上的多个对准标记的坐标数据，并且将该坐标数据发送到晶圆对准系统。

公开(公告)号：DE112012001136B4

公开(公告)日：2018-05-24

申请号：DE112012001136

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B9/02 ,  G01B11/00 ,  H01L23/544

Abstract: System zum Durchführen einer Justierung von zwei Wafern, das aufweist:ein optisches Kohärenz-Tomographie-System [102]; undein Waferjustiersystem [104];wobei das Waferjustiersystem [104] so konfiguriert und angeordnet ist, dass es die relative Position eines ersten Wafers und eines zweiten Wafers steuert, und wobei das optische Kohärenz-Tomographie-System [102] so konfiguriert und angeordnet ist, dass es dreidimensionale Koordinatendaten für eine Vielzahl von Justiermarkierungen auf dem ersten Wafer und dem zweiten Wafer berechnet; und die Koordinatendaten zu dem Waferjustiersystem sendet.

公开(公告)号：DE112012001136T5

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：DE112012001136

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  H01L21/02

Abstract: Es wird ein System zum Durchführen einer Justierung von zwei Wafern offenbart. Das System weist ein optisches Kohärenz-Tomographie-System und ein Waferjustiersystem auf. Das Waferjustiersystem ist so konfiguriert und angeordnet, dass es die relative Position eines ersten Wafers und eines zweiten Wafers steuert. Das optische Kohärenz-Tomographie-System ist so konfiguriert und angeordnet, dass es Koordinatendaten für eine Vielzahl von Justiermarkierungen auf dem ersten Wafer und auf dem zweiten Wafer berechnet und jene Koordinatendaten zu dem Waferjustiersystem sendet.