公开(公告)号：WO2011037710A2

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：PCT/US2010046267

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM ,  HSU LOUIS L ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

Inventor： HSU LOUIS L ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: G11C11/24 ,  G11C11/34

CPC classification number: H01L28/40 ,  H01L22/14 ,  H01L22/22 ,  H01L22/34 ,  H01L23/5223 ,  H01L27/0688 ,  H01L27/0805 ,  H01L28/60 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T307/865 ,  H01L2924/00

Abstract: A modularized capacitor array includes a plurality of capacitor modules. Each capacitor module includes a capacitor and a switching device that is configured to electrically disconnect the capacitor. The switching device includes a sensing unit configured to detect the level of leakage of the capacitor so that the switching device disconnects the capacitor electrically if the leakage current exceeds a predetermined level. Each capacitor module can include a single capacitor plate, two capacitor plates, or more than two capacitor plates. The leakage sensors and switching devices are employed to electrically disconnect any capacitor module of the capacitor array that becomes leaky, thereby protecting the capacitor array from excessive electrical leakage.

Abstract translation: 模块化电容器阵列包括多个电容器模块。 每个电容器模块包括电容器和被配置为电连接电容器的开关装置。 开关装置包括感测单元，该感测单元被配置为检测电容器的泄漏水平，使得如果泄漏电流超过预定水平，则开关装置电切断电容器。 每个电容器模块可以包括单个电容器板，两个电容器板或两个以上的电容器板。 采用泄漏传感器和开关装置来电切断电容器阵列中任何变得泄漏的电容器模块，由此保护电容器阵列免于过度的漏电。

公开(公告)号：WO2012121938A3

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：PCT/US2012027052

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM ,  XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/681 ,  G01B9/02091 ,  H01L23/544 ,  H01L24/75 ,  H01L24/81 ,  H01L24/94 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/8113 ,  H01L2224/81132 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/81

Abstract: A system for performing alignment of two wafers is disclosed. The system comprises an optical coherence tomography system and a wafer alignment system. The wafer alignment system is configured and disposed to control the relative position of a first wafer and a second wafer. The optical coherence tomography system is configured and disposed to compute coordinate data for a plurality of alignment marks on the first wafer and second wafer, and send that coordinate data to the wafer alignment system.

Abstract translation: 公开了一种用于执行两个晶片的对准的系统。 该系统包括光学相干断层扫描系统和晶片对准系统。 晶片对准系统被配置和设置成控制第一晶片和第二晶片的相对位置。 光学相干断层扫描系统被配置和设置为计算第一晶圆和第二晶圆上的多个对准标记的坐标数据，并且将该坐标数据发送到晶圆对准系统。

公开(公告)号：DE112012001136T5

公开(公告)日：2014-01-16

申请号：DE112012001136

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B11/00 ,  H01L21/02

Abstract: Es wird ein System zum Durchführen einer Justierung von zwei Wafern offenbart. Das System weist ein optisches Kohärenz-Tomographie-System und ein Waferjustiersystem auf. Das Waferjustiersystem ist so konfiguriert und angeordnet, dass es die relative Position eines ersten Wafers und eines zweiten Wafers steuert. Das optische Kohärenz-Tomographie-System ist so konfiguriert und angeordnet, dass es Koordinatendaten für eine Vielzahl von Justiermarkierungen auf dem ersten Wafer und auf dem zweiten Wafer berechnet und jene Koordinatendaten zu dem Waferjustiersystem sendet.

公开(公告)号：GB2504032A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：GB201318585

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： HSU LOUIS LU-CHEN ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: H01L27/06

Abstract: A modularized capacitor array includes a plurality of stacked capacitor modules. Each capacitor module includes a capacitor and a switching device that is configured to electrically disconnect the capacitor. The switching device includes a sensing unit configured to detect the level of leakage of the capacitor so that the switching device disconnects the capacitor electrically if the leakage current exceeds a predetermined level. Each capacitor module can include a single capacitor plate, two capacitor plates, or more than two capacitor plates where the middle electrode is shared between capacitors. In some embodiments each module 4 comprises at least two capacitors C1:C6 comprising at least three overlapping conductive plates 10, 20, 30:70. Each switch can comprise a field effect transistor, FET. In some embodiments each module comprises a capacitor-side via that contacts at least one plate of the capacitors and the switching device.

公开(公告)号：GB2486115B

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：GB201204298

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： HSU LOUIS LU-CHEN ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: G11C11/24 ,  G11C11/34

Abstract: A modularized capacitor array includes a plurality of capacitor modules. Each capacitor module includes a capacitor and a switching device that is configured to electrically disconnect the capacitor. The switching device includes a sensing unit configured to detect the level of leakage of the capacitor so that the switching device disconnects the capacitor electrically if the leakage current exceeds a predetermined level. Each capacitor module can include a single capacitor plate, two capacitor plates, or more than two capacitor plates. The leakage sensors and switching devices are employed to electrically disconnect any capacitor module of the capacitor array that becomes leaky, thereby protecting the capacitor array from excessive electrical leakage.

公开(公告)号：DE112012001136B4

公开(公告)日：2018-05-24

申请号：DE112012001136

申请日：2012-02-29

Applicant: IBM

Inventor： XIN YONGCHUN ,  OUYANG XU ,  SONG YUNSHENG ,  TING TSO-HUI

IPC: H01L21/68 ,  G01B9/02 ,  G01B11/00 ,  H01L23/544

Abstract: System zum Durchführen einer Justierung von zwei Wafern, das aufweist:ein optisches Kohärenz-Tomographie-System [102]; undein Waferjustiersystem [104];wobei das Waferjustiersystem [104] so konfiguriert und angeordnet ist, dass es die relative Position eines ersten Wafers und eines zweiten Wafers steuert, und wobei das optische Kohärenz-Tomographie-System [102] so konfiguriert und angeordnet ist, dass es dreidimensionale Koordinatendaten für eine Vielzahl von Justiermarkierungen auf dem ersten Wafer und dem zweiten Wafer berechnet; und die Koordinatendaten zu dem Waferjustiersystem sendet.

公开(公告)号：DE112010002919B4

公开(公告)日：2015-01-22

申请号：DE112010002919

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO ,  HSU LOUIS L

IPC: G11C11/24 ,  G11C11/34 ,  H01L21/822 ,  H01L27/06 ,  H02H7/16

Abstract: Halbleiterstruktur, welche eine Matrix von Kondensatormodulen (100) umfasst, wobei jedes der Kondensatormodule das Folgende umfasst: einen Kondensator (C), welcher eine erste Elektrode (110), eine zweite Elektrode (120) und ein dielektrisches Material umfasst, das zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist; und eine Schalteinheit (140), welche dafür konfiguriert ist, den Kondensator von einem Spannungsversorgungsknoten (Vdd) elektrisch zu trennen, wobei die Schalteinheit einen Feldeffekttransistor (P2) und eine Sensoreinheit (142) umfasst, welche dafür konfiguriert ist, einen Leckstrom durch den Kondensator hindurch zu erkennen und wobei die Sensoreinheit einen ersten Feldeffekttransistor des p-Typs (P1) umfasst, es sich bei dem Feldeffekttransistor um einen zweiten Feldeffekttransistor des p-Typs handelt und der erste und zweite Feldeffekttransistor des p-Typs in einer Parallelschaltung zwischen den Spannungsversorgungsknoten und einen Knoten (Knoten B) des Kondensators geschaltet sind.

公开(公告)号：GB2504032B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：GB201318585

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： HSU LOUIS LU-CHEN ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: H01L27/06

Abstract: A modularized capacitor array includes a plurality of capacitor modules. Each capacitor module includes a capacitor and a switching device that is configured to electrically disconnect the capacitor. The switching device includes a sensing unit configured to detect the level of leakage of the capacitor so that the switching device disconnects the capacitor electrically if the leakage current exceeds a predetermined level. Each capacitor module can include a single capacitor plate, two capacitor plates, or more than two capacitor plates. The leakage sensors and switching devices are employed to electrically disconnect any capacitor module of the capacitor array that becomes leaky, thereby protecting the capacitor array from excessive electrical leakage.

公开(公告)号：GB2486115A

公开(公告)日：2012-06-06

申请号：GB201204298

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： HSU LOUIS LU-CHEN ,  OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO

IPC: G11C11/24 ,  G11C11/34

Abstract: A modularized capacitor array includes a plurality of capacitor modules. Each capacitor module includes a capacitor and a switching device that is configured to electrically disconnect the capacitor. The switching device includes a sensing unit configured to detect the level of leakage of the capacitor so that the switching device disconnects the capacitor electrically if the leakage current exceeds a predetermined level. Each capacitor module can include a single capacitor plate, two capacitor plates, or more than two capacitor plates. The leakage sensors and switching devices are employed to electrically disconnect any capacitor module of the capacitor array that becomes leaky, thereby protecting the capacitor array from excessive electrical leakage.

公开(公告)号：DE112010002919T5

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：DE112010002919

申请日：2010-08-23

Applicant: IBM

Inventor： OUYANG XU ,  YANG CHIH-CHAO ,  HSU LOUIS L

IPC: G11C11/24 ,  G11C11/34

Abstract: Eine modulare Kondensatormatrix umfasst mehrere Kondensatormodule. Jedes Kondensatormodul umfasst einen Kondensator und eine Schalteinheit, welche dafür konfiguriert ist, den Kondensator elektrisch abzutrennen. Die Schalteinheit umfasst eine Sensoreinheit, welche dafür konfiguriert ist, die Stärke des Leckstroms des Kondensators zu erkennen, so dass die Schalteinheit den Kondensator elektrisch abtrennt, wenn der Leckstrom eine vorgegebene Stärke übersteigt. Jedes Kondensatormodul kann eine einzelne Kondensatorplatte, zwei Kondensatorplatten oder mehr als zwei Kondensatorplatten umfassen. Die Leckstromsensoren und Schalteinheiten werden verwendet, um jedes Kondensatormodul aus der Kondensatormatrix elektrisch abzutrennen, das zu lecken beginnt, wodurch die Kondensatormatrix vor einem übermäßigen elektrischen Leckstrom geschützt wird.