公开(公告)号：DE102021125848A1

公开(公告)日：2022-05-25

申请号：DE102021125848

申请日：2021-10-05

Applicant: IBM

Inventor： MEIJER GERHARD INGMAR ,  WEBER VALERY ,  STAAR PETER WILLEM JAN

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Kation einer neuartigen Photosäure-Erzeuger-Verbindung, das ein Element aufweist, das für Photonen mit 92 eV (extremes Ultraviolett (EUV)) einen Absorptionsquerschnitt von zumindest 0,5 × 107·cm2/mol aufweist; das zumindest zwei stabile Oxidationszustände aufweist; und das aus den Elementen von Gruppe 1 bis Gruppe 15 des Periodensystems der Elemente ausgewählt ist. Darüber hinaus bezieht sich die vorliegende Erfindung auf einen Photosäure-Erzeuger, der das Kation der Photosäure-Erzeuger-Verbindung sowie ein Anion aufweist. Des Weiteren zielt die vorliegende Erfindung auf die Bereitstellung einer Photoresist-Zusammensetzung ab, die den Photosäure-Erzeuger und ein säurelabiles Polymer aufweist. Schließlich bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur Erzeugung einer Säure unter Verwendung der Photoresist-Zusammensetzung und auf ein Verfahren zur Bildung eines Merkmals aus strukturierten Materialien auf einem Substrat.

公开(公告)号：DE112020002961T5

公开(公告)日：2022-04-07

申请号：DE112020002961

申请日：2020-06-16

Applicant: IBM

Inventor： STAAR PETER WILLEM JAN ,  DOLFI MICHELE ,  AUER CHRISTOPH ,  GEORGOPOULOS LEONIDAS ,  SOBCZYK ALEKSANDROS ,  BACCAERT TIM JAN ,  BEKAS KONSTANTINOS

IPC: G06F16/832 ,  G06F16/2452 ,  G06F40/279 ,  G06N20/00

Abstract: Ein durch einen Computer implementiertes Verfahren zum Erzeugen von Ground Truth für Abfragen in natürlicher Sprache kann ein Bereitstellen eines Wissensgraphen als Datenmodell, ein Empfangen einer Abfrage in natürlicher Sprache von einem Benutzer und ein Übersetzen der Abfrage in natürlicher Sprache in eine formale Datenabfrage umfassen. Außerdem kann das Verfahren ein Sichtbarmachen der formalen Datenabfrage für den Benutzer und ein Empfangen einer Rückmeldungsantwort vom Benutzer umfassen. Die Rückmeldungsantwort kann eine geprüfte und/oder bearbeitet formale Datenabfrage umfassen. Außerdem kann das Verfahren ein Speichern der Abfrage in natürlicher Sprache und der entsprechenden Rückmeldungsantwort als Ground-Truth-Paar umfassen. Ein entsprechendes System und ein zugehöriges Computerprogrammprodukt können bereitgestellt werden.