公开(公告)号：DE102021125848A1

公开(公告)日：2022-05-25

申请号：DE102021125848

申请日：2021-10-05

Applicant: IBM

Inventor： MEIJER GERHARD INGMAR ,  WEBER VALERY ,  STAAR PETER WILLEM JAN

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Kation einer neuartigen Photosäure-Erzeuger-Verbindung, das ein Element aufweist, das für Photonen mit 92 eV (extremes Ultraviolett (EUV)) einen Absorptionsquerschnitt von zumindest 0,5 × 107·cm2/mol aufweist; das zumindest zwei stabile Oxidationszustände aufweist; und das aus den Elementen von Gruppe 1 bis Gruppe 15 des Periodensystems der Elemente ausgewählt ist. Darüber hinaus bezieht sich die vorliegende Erfindung auf einen Photosäure-Erzeuger, der das Kation der Photosäure-Erzeuger-Verbindung sowie ein Anion aufweist. Des Weiteren zielt die vorliegende Erfindung auf die Bereitstellung einer Photoresist-Zusammensetzung ab, die den Photosäure-Erzeuger und ein säurelabiles Polymer aufweist. Schließlich bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur Erzeugung einer Säure unter Verwendung der Photoresist-Zusammensetzung und auf ein Verfahren zur Bildung eines Merkmals aus strukturierten Materialien auf einem Substrat.