公开(公告)号：DE3469100D1

公开(公告)日：1988-03-03

申请号：DE3469100

申请日：1984-05-03

Applicant: IBM

Inventor： DORAN SAMUEL K ,  HAIRE DONALD F ,  TROTTER RALPH R

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J21/26 ,  H01J37/153

公开(公告)号：DE3466831D1

公开(公告)日：1987-11-19

申请号：DE3466831

申请日：1984-06-22

Applicant: IBM

Inventor： SIMPSON ROBERT A ,  TROTTER RALPH R ,  WEBER EDWARD V

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/304 ,  H01L21/68 ,  H01L23/544 ,  H01L21/263 ,  G06F15/46 ,  H01J37/00