公开(公告)号：DE69131520D1

公开(公告)日：1999-09-16

申请号：DE69131520

申请日：1991-12-11

Applicant: IBM

Inventor： CRABBE EMMANUEL ,  MEYERSON BERNARD STEELE ,  STORK JOHANNES MARIA CORNELIS ,  VERDONCKT-VANDEBROEK SOPHIE

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/335 ,  H01L29/10 ,  H01L29/161 ,  H01L29/165 ,  H01L29/778

公开(公告)号：DE69131520T2

公开(公告)日：2000-03-30

申请号：DE69131520

申请日：1991-12-11

Applicant: IBM

Inventor： CRABBE EMMANUEL ,  MEYERSON BERNARD STEELE ,  STORK JOHANNES MARIA CORNELIS ,  VERDONCKT-VANDEBROEK SOPHIE

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/335 ,  H01L29/10 ,  H01L29/161 ,  H01L29/165 ,  H01L29/778