公开(公告)号：DE69010298T2

公开(公告)日：1995-01-26

申请号：DE69010298

申请日：1990-07-26

Applicant: IBM

Inventor： BLUM JOSEPH M ,  CHAN KEVIN K ,  MCINTOSH ROBERT C ,  WEINBERG ZEEV A

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/40 ,  H01L21/316 ,  H01L21/285

公开(公告)号：DE69010298D1

公开(公告)日：1994-08-04

申请号：DE69010298

申请日：1990-07-26

Applicant: IBM

Inventor： BLUM JOSEPH M ,  CHAN KEVIN K ,  MCINTOSH ROBERT C ,  WEINBERG ZEEV A

IPC: C23C16/02 ,  C23C16/40 ,  H01L21/316 ,  H01L21/285