公开(公告)号：GB2511665B

公开(公告)日：2018-06-27

申请号：GB201408327

申请日：2012-11-02

Applicant: IBM

Inventor： KUANG-JUNG CHEN ,  WU-SONG S HUANG ,  SEN LIU ,  STEVEN J HOLMES ,  GREGORY BREYTA

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

公开(公告)号：GB2525818B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：GB201515977

申请日：2014-01-23

Applicant: IBM ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO LTD

Inventor： MARTIN GLODDE ,  WU-SONG S HUANG ,  JAVIER PEREZ ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  TAKESHI KINSHO ,  TSUTOMU OGIHARA ,  SEIICHIRO TACHIBANA ,  TAKAFUMI UEDA

IPC: G03F7/11 ,  C09D5/00 ,  C09D183/00 ,  G03F7/075