公开(公告)号：DE102010036402A1

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：DE102010036402

申请日：2010-07-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： ANDRADA CHRISTIAN ,  CHEW SOON ,  KOMPOSCH ALEXANDER ,  MOHAMMED ANWAR

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/58 ,  H01L23/043 ,  H01L23/36 ,  H01L25/07

公开(公告)号：DE102010036402B4

公开(公告)日：2017-04-20

申请号：DE102010036402

申请日：2010-07-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： ANDRADA CHRISTIAN ,  CHEW SOON ,  KOMPOSCH ALEXANDER ,  MOHAMMED ANWAR

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/58 ,  H01L23/043 ,  H01L23/36 ,  H01L25/07

Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Lufthohlraum-Bausteins, umfassend: Anbringen mehrerer Chips (120) an einer Oberfläche eines Kupferkühlkörpers (110); Dispensieren eines Wulstes (140) aus Epoxid um eine Peripherie der Kühlkörperoberfläche, nachdem die mehreren Chips (120) an dem Kupferkühlkörper (110) angebracht sind, so dass der Wulst (140) aus Epoxid die mehreren Chips (120) allgemein umgibt; Platzieren eines keramischen Fensterrahmens (130) auf dem Wulst (140) aus Epoxid, Ausüben einer Kraft auf den keramischen Fensterrahmen (130), die sich eignet, einen Teil des Epoxids unter einer unteren Oberfläche des keramischen Fensterrahmens (130) herauszudrücken entlang einer äußeren Seitenwand des keramischen Fensterrahmens (130), die von den mehreren Chips (120) weg gewandt ist; und Härten des Epoxids, um eine untere Oberfläche des keramischen Fensterrahmens (130) an dem Kupferkühlkörper (110) anzubringen und Ausbilden einer epoxidbasierten Hohlkehle entlang der äußeren Seitenwand des keramischen Fensterrahmens (130), wobei sich die epoxidbasierte Hohlkehle über mindestens 25% der Höhe der äußeren Seitenwand des keramischen Fensterrahmens (130) erstreckt, gemessen ab der Kühlkörperoberfläche.