公开(公告)号：DE102004021239B4

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：DE102004021239

申请日：2004-04-30

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KÖRNER HEINRICH DR ,  HOMMEL MARTINA DR ,  AUBEL OLIVER ,  HASSE WOLFGANG DR

IPC: H01L23/532 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

Abstract: Integrierte Schaltungsanordnung (500, 500b), mit einer elektrisch leitfähigen Leitstruktur (506, 506b), die gemäß einer Kornstruktur strukturiert ist, wobei elektrisch leitfähiges Barrierematerial in einem Korngrenzenbereich der Leitstruktur (506, 506b) angeordnet ist, der mindestens 5 Nanometer oder der mindestens 10 Nanometer im Innern der Leitstruktur angeordnet ist, wobei die Schaltungsanordnung (500, 500b) ein Substrat (501) enthält, das eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen enthält, und wobei die Leitstruktur eine Leitbahn (506, 506b) ist, wobei die Leitbahn (506, 506b) zwischen dem Substrat (501) und einer Vialeitstruktur (550, 550b) angrenzend an die Vialeitstruktur (550, 550b) angeordnet ist, wobei die Vialeitstruktur (550, 550b) oberhalb der Leitbahn (506, 506b) angeordnet ist, wobei eine Seitenwand der Vialeitstruktur (550, 550b) an eine Barrierematerialschicht grenzt und wobei zwischen der Vialeitstruktur und der Leitbahn (506, 506b) keine Barrierematerialschicht oder keine durchgehende Barrierematerialschicht angeordnet ist, und wobei die Vialeitstruktur (550, 550b) an eine substratferne Leitbahn (560, 560b) grenzt, deren Bodenfläche an eine elektrisch leitfähige Barrierematerialschicht (530, 530b) grenzt.

公开(公告)号：DE102004021239A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：DE102004021239

申请日：2004-04-30

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KOERNER HEINRICH ,  HOMMEL MARTINA ,  AUBEL OLIVER ,  HASSE WOLFGANG

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532