公开(公告)号：DE10241155A1

公开(公告)日：2004-03-25

申请号：DE10241155

申请日：2002-09-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SEIDEL UWE ,  ENDER ULRICH ,  OTTO JUERGEN

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/12

Abstract: Device for finishing thinning of a workpiece (40) comprises a radiation emitting unit (20) which directs radiation (46) onto a region (44), a radiation receiving unit (22) which receives radiation (48) from the region, and an evaluation unit (24) which stops the process depending on the output signal (50) from the radiation receiving unit. An Independent claim is also included for a process for finishing thinning of a workpiece using the above device.

公开(公告)号：DE102010011020A1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：DE102010011020

申请日：2010-03-11

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： BAUR DIETER ,  ENDER ULRICH ,  FILSER KLAUS ,  GROMMES WALTHER ,  KARLI AHMET ,  KINZEL HERMANN ,  RATH REINHOLD

IPC: H01L21/687

Abstract: Eine Trägerplatte zur Aufnahme einer Halbleiterscheibe weist eine umlaufende Erhebung auf. Die Erhebung ist derart an der Trägerplatte angeordnet, dass sie während der Aufnahme der Halbleiterscheibe auf einem Randbereich der Halbleiterscheibe liegt.

公开(公告)号：DE10241155B4

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：DE10241155

申请日：2002-09-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SEIDEL UWE ,  ENDER ULRICH ,  OTTO JUERGEN

IPC: B24B49/12 ,  B24B37/013