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公开(公告)号：DE102010011020A1
公开(公告)日：2011-09-15
申请号：DE102010011020
申请日：2010-03-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： BAUR DIETER , ENDER ULRICH , FILSER KLAUS , GROMMES WALTHER , KARLI AHMET , KINZEL HERMANN , RATH REINHOLD
IPC: H01L21/687
Abstract: Eine Trägerplatte zur Aufnahme einer Halbleiterscheibe weist eine umlaufende Erhebung auf. Die Erhebung ist derart an der Trägerplatte angeordnet, dass sie während der Aufnahme der Halbleiterscheibe auf einem Randbereich der Halbleiterscheibe liegt.
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