公开(公告)号：DE102010000818A1

公开(公告)日：2010-09-02

申请号：DE102010000818

申请日：2010-01-12

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： NAWAZ MOSHIN ,  SCHOEN FLORIAN ,  WINKLER BERNHARD

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G04F5/04 ,  H01L29/84 ,  H03B5/30

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf MEMS-Bauelemente. Bei einem Ausführungsbeispiel umfasst ein mikroelektromechanisches-System-(MEMS-)Bauelement ein Resonatorelement mit einem Umfang, eine Ankerregion und eine Mehrzahl von Balkenelementen, die die Ankerregion und das Resonatorelement koppeln. Weitere Ausführungsbeispiele umfassen zusätzliche Bauelemente, Systeme und Verfahren.

公开(公告)号：DE102010000818B4

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：DE102010000818

申请日：2010-01-12

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： NAWAZ MOSHIN ,  SCHOEN FLORIAN ,  WINKLER BERNHARD

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G04F5/04 ,  H01L29/84 ,  H03B5/30

Abstract: Mikroelektromechanisches-System-(MEMS-)Bauelement, das folgende Merkmale umfasst: ein Resonatorelement (402; 502; 602; 702) mit einem Umfang; eine Elektrode (404; 504; 604; 706), die von dem Resonatorelement (402; 502; 602; 702) beabstandet ist; eine Ankerregion (608; 708), die zumindest eine Öffnung umfasst; eine Mehrzahl von Balkenelementen, die die Ankerregion (608; 708) und das Resonatorelement (402; 502; 602; 702) koppeln; eine Mehrzahl von Masseelementen (420; 520; 620; 720), die auf dem Resonatorelement (402; 502; 602; 702) gebildet sind und die jeweils zumindest eine Öffnung (422; 522; 622; 722) umfassen.