ULTRASCHALLVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSBILDEN EINER ULTRASCHALLVORRICHTUNG, ULTRASCHALLANORDNUNGEN UND VERFAHREN ZUM AUSBILDEN VON ULTRASCHALLANORDNUNGEN

    公开(公告)号:DE102023203937B4

    公开(公告)日:2025-02-06

    申请号:DE102023203937

    申请日:2023-04-27

    Abstract: Ultraschallvorrichtung (100, 200, 300), umfassend:mindestens einen mikromechanischen Ultraschallwandler, MUT (111, ..., 118); undeine Verarbeitungsschaltung (120), die elektrisch mit dem mindestens einen MUT (111, ..., 118) gekoppelt ist,wobei der mindestens eine MUT (111, ..., 118) und die Verarbeitungsschaltung (120) in einem eingebetteten Wafer-Level-Ball-Grid-Array-, eWLB-, Gehäuse (130) verpackt sind,wobei ein akustisches Kopplungsmedium (140) zum akustischen Koppeln des mindestens einen MUT (111, ..., 118) mit einer externen Anwendungsoberfläche auf dem mindestens einen MUT (111, ..., 118) gebildet ist, undwobei der mindestens eine MUT (111, ..., 118) in eine Formmasse (131) des eWLB-Gehäuses (130) eingebettet ist, wobei eine oder mehrere Umverteilungsschichten (132, 133) auf der Formmasse (131) zum elektrischen Koppeln der Verarbeitungsschaltung (120) mit dem mindestens einen MUT (111, ..., 118) gebildet sind und wobei eine Aussparung (136) in der einen oder den mehreren Umverteilungsschichten (132, 133) für das akustische Kopplungsmedium (140) bereitgestellt ist.

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