公开(公告)号：DE102010016184B4

公开(公告)日：2019-05-29

申请号：DE102010016184

申请日：2010-03-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MARTIN ANDREAS ,  MITCHELL ANDREA ,  RYDEN KARL-HENRIK

IPC: H01L23/544 ,  G01N27/04 ,  H01L21/66

Abstract: Prüfstruktur (300), aufweisend:eine dielektrische Schicht (305);einen an die dielektrische Schicht (305) angrenzenden ersten leitfähigen Bereich;einen von dem ersten leitfähigen Bereich durch die dielektrische Schicht (305) getrennten zweiten leitfähigen Bereich;eine erste Prüfkontaktstelle (321);eine erste leitende Leitung (311), die die erste Prüfkontaktstelle (321) mit dem ersten leitfähigen Bereich koppelt;eine zweite Prüfkontaktstelle (322);eine zweite leitende Leitung (312), die die zweite Prüfkontaktstelle (322) mit dem ersten leitfähigen Bereich koppelt; undeine elektrisch mit dem zweiten leitfähigen Bereich gekoppelte dritte Prüfkontaktstelle (323);wobei die erste leitende Leitung (311) zwischen der ersten Prüfkontaktstelle (321) und dem ersten leitfähigen Bereich einen ersten Widerstand aufweist und wobei die zweite leitende Leitung (312) zwischen der zweiten Prüfkontaktstelle (322) und dem ersten leitfähigen Bereich einen zweiten Widerstand aufweist, wobei die zweite leitende Leitung (312) schmäler als die erste leitende Leitung (311) ist, und wobei der erste Widerstand kleiner als der zweite Widerstand ist.

公开(公告)号：DE102010016184A1

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：DE102010016184

申请日：2010-03-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MARTIN ANDREAS ,  MITCHELL ANDREA ,  RYDEN KARL-HENRIK

IPC: H01L23/544 ,  G01N27/04 ,  H01L21/66

Abstract: Es werden ein System zur Prüfung und ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements offenbart. Eine bevorzugte Ausführungsform weist einen Leiter auf, der über einer dielektrischen Schicht (305) liegt. Der Leiter ist über eine erste leitende Leitung (311) mit einer ersten Prüfkontaktstelle (321) und über eine zweite leitende Leitung (312) mit einer zweiten Prüfkontaktstelle (322) gekoppelt.