公开(公告)号：DE102024101618A1

公开(公告)日：2024-12-05

申请号：DE102024101618

申请日：2024-01-19

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： PICHLER FRANZ-JOSEF ,  LIM FONG ,  OMAZIC MARKO ,  TENG WEE KHIM ,  MOHAMED ABDUL RAHMAN

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/301 ,  H01L23/495

Abstract: Ein Siliziumcarbid-Chip weist eine erste Hauptoberfläche, eine zweite Hauptoberfläche und eine Seitenfläche auf, wobei ein im Siliziumcarbid-Material gemessener Winkel α zwischen der Seitenfläche und einer horizontalen Ebene mehr als 78° beträgt, wobei der Winkel α in einem der zweiten Hauptoberfläche benachbarten Gebiet gemessen wird.