公开(公告)号：DE102018112632A1

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：DE102018112632

申请日：2018-05-25

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： VOIGTLAENDER HANS-JOACHIM ,  STEINER THOMAS ,  BUCHER MANFRED ,  MALE MATHIAS

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H01L21/82

Abstract: Nach verschiedenen Ausführungsformen kann eine Substrathalteranordnung (100) Folgendes einschließen: eine Stützstruktur (102), die ausgelegt ist, um ein Substrat (120) auf einer oder mehreren Oberflächen (102s) der Stützstruktur (102) zu stützen; ein Positionierungssystem (106), das ausgelegt ist, um eine Substratkante-Schutzstruktur (104) bezogen auf die eine oder mehreren Oberflächen (102s) der Stützstruktur (102) zu positionieren, um einen Kantenbereich (120e) des Substrats (120), der sich in einem Spalt (113) zwischen der Substratkante-Schutzstruktur (104) und der einen oder den mehreren Oberflächen (102s) der Stützstruktur (102) befindet, zu schützen, wobei das Positionierungssystem (106) ausgelegt ist, um Daten (106d), die einer Dicke (120d) des Substrats (120) zugeordnet sind, zu empfangen und die Substratkante-Schutzstruktur (104) basierend auf den der Dicke (120d) des Substrats (120) zugeordneten Daten (106d) zu positionieren.