公开(公告)号：DE102009060072B4

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：DE102009060072

申请日：2009-12-22

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： WOOD ANDREW DR ,  ZELSACHER RUDOLF ,  ZUNDEL MARKUS DR

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/265 ,  H01L21/336 ,  H01L29/08

Abstract: Halbleiterbauelement mit zumindest einem Feldeffekttransistor entlang eines Grabens (10) in einem Halbleiterkörper (11), wobei der zumindest eine Feldeffekttransistor aufweist: – ein Sourcegebiet (12) von einem ersten Leitungstyp, – ein Draingebiet (13) von einem ersten Leitungstyp und – ein Bodygebiet (14) von einem zweiten Leitungstyp zwischen dem Sourcegebiet (12) und dem Draingebiet 13 in dem Halbleiterkörper (11), – eine Gateelektrode in dem Graben (10) entlang des Bodygebiets (14), die durch ein Gatedielektrikum (16) getrennt gegenüber dem Bodygebiet (14) angeordnet ist, – zumindest ein lokal begrenztes Dotierstoffgebiet (17) von einem ersten Leitungstyp in dem Halbleiterkörper (11), das sich von bzw. über einen pn-Übergang 18 zwischen dem Source-/Bodygebiet (12, 14) oder zwischen dem Drain-/Bodygebiet (13, 14) erstreckt und ein Teil des Dotierstoffgebiets (17) in dem Bodygebiet (14) gegenüber einem Teil der Gateelektrode (15) liegt, sodass eine Lücke L im Bodygebiet (14) zwischen dem pn-Übergang 18 und der Gateelektrode (15) durch das Dotierstoffgebiet (17) überbrückt wird.

公开(公告)号：DE102009060072A1

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：DE102009060072

申请日：2009-12-22

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： WOOD ANDREW DR ,  ZELSACHER RUDOLF ,  ZUNDEL MARKUS DR

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/265 ,  H01L21/336

Abstract: Ein Halbleiterbauelement mit zumindest einem Feldeffekttransistor entlang eines Grabens in einem Halbleiterkörper weist zumindest ein lokal begrenztes Dotierstoffgebiet in dem Halbleiterkörper auf, das sich von bzw. über einen pn-Übergang zwischen dem Source – Bodygebiet oder zwischen dem Drain – Bodygebiet des Feldeffekttransistors in das Bodygebiet bis zur Gateelektrode erstreckt, sodass eine Lücke zwischen dem pn-Übergang und der Gateelektrode im Bodygebiet überbrückt wird.