VIAS FÜR PACKAGE-SUBSTRATE
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102020112240A1

    公开(公告)日:2020-12-17

    申请号:DE102020112240

    申请日:2020-05-06

    Applicant: INTEL CORP

    Abstract: Ausführungsbeispiele hierin beschreiben Techniken für ein Halbleiterbauelement umfassend ein Package-Substrat. Das Package-Substrat umfasst eine Via-Anschlussfläche zumindest teilweise in einer Kernschicht. Eine erste Dielektrikumsschicht umfassend ein erstes Dielektrikumsmaterial liegt über der Via-Anschlussfläche und der Kernschicht, die erste Dielektrikumsschicht umfassend ein erstes Durchgangsloch durch die erste Dielektrikumsschicht, um die Via-Anschlussfläche zu erreichen. Eine zweite Dielektrikumsschicht umfassend ein zweites Dielektrikumsmaterial, das zumindest teilweise das erste Durchgangsloch füllt, die zweite Dielektrikumsschicht umfassend ein zweites Durchgangsloch durch die zweite Dielektrikumsschicht, um die Via-Anschlussfläche zu erreichen. Ein Via befindet sich ferner innerhalb des zweiten Durchgangslochs der zweiten Dielektrikumsschicht, umgeben von dem zweiten Dielektrikumsmaterial und in Kontakt mit der Via-Anschlussfläche. Andere Ausführungsbeispiele können beschrieben und/oder beansprucht sein.

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