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公开(公告)号:DE102023134833A1
公开(公告)日:2025-01-02
申请号:DE102023134833
申请日:2023-12-12
Applicant: INTEL CORP
Inventor: DESHPANDE NITIN A , ZAWADZKI KEITH E , KARHADE OMKAR G , MAYA FRANCISCO , KRISHNATREYA BHASKAR JYOTI , DONG SIYAN , GILL ALVEERA , NGUYEN TAN
IPC: H01L23/544 , H01L21/58 , H01L23/50 , H10D80/30
Abstract: Eine Vorrichtung umfassend ein Integrierte-Schaltungs-Bauelement umfassend einen Referenzpunktbereich einer ersten Schicht, wobei der Referenzpunktbereich einen Metallbereich und einen metallfreien Bereich umfasst; und eine Vielzahl von Zonen, die in mehreren Schichten benachbart zu der ersten Schicht metallfrei sind, wobei die Zonen durch eine Grundfläche basierend auf dem Referenzpunktbereich der ersten Schicht und einem zweiten Referenzpunktbereich eines zweiten Integrierte-Schaltungs-Bauelements definiert sind, wobei die Grundfläche mehrere Schlitze umfasst.
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公开(公告)号:DE102023130379A1
公开(公告)日:2025-01-02
申请号:DE102023130379
申请日:2023-11-03
Applicant: INTEL CORP
Inventor: KARHADE OMKAR G , DESHPANDE NITIN A , MAYA FRANCISCO , MINN KHANT , POTHUKUCHI SURESH V , SARKAR ARNAB , BHATIA MOHIT , KRISHNATREYA BHASKAR JYOTI , DONG SIYAN
IPC: H01L23/544 , H01L21/67 , H01L21/98
Abstract: Eine Einrichtung umfasst eine erste IC-Vorrichtung, wobei die erste IC-Vorrichtung ein Referenzelement mit einer Längengröße umfasst, die größer als eine Breitengröße des Referenzelements ist, wobei das Referenzelement mindestens einen ersten Bereich und mindestens einen zweiten Bereich umfasst, wobei der mindestens eine erste Bereich Licht von einer Lichtquelle stoppen soll und der mindestens eine zweite Bereich Licht von der Lichtquelle während einer Bestimmung einer Ausrichtung zwischen der ersten IC-Vorrichtung und einer zweiten IC-Vorrichtung durchlassen soll.
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