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    ACCELEROMETER WITH FOLDED BEAMS
    2.
    发明公开
    ACCELEROMETER WITH FOLDED BEAMS 审中-公开
    具有折叠梁的加速度计

    公开(公告)号：EP1311863A1

    公开(公告)日：2003-05-21

    申请号：EP01948555.6

    申请日：2001-06-21

    Applicant: Input Output, Inc.

    Inventor： SELVAKUMAR, Arjun ,  YU, Duli ,  YU, Lianzhong ,  JONES, Ben, W.

    IPC: G01P15/00

    CPC classification number: G01V1/181 ,  B81B3/0072 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

    Abstract: An accelerometer comprising a measuring mass (1405) for detecting acceleration, including a housing having a cavity, one or more spring mass assemblies (1400) positioned within the cavity, wherein each spring mass assembly (1400) includes a support structure (1410), including one or more resilient folded beams (1415a-1415d) coupled to the support structure (1410) and the measuring mass (1405) is coupled to the resilent folded beams (1415a-1415d), wherein one or more electrode patterns are coupled to the spring mass assembly (1400), wherein a top cap wafer, including a top capacitor electrode, is coupled to the measurement mass (1405), and a bottom cap wafer, including a bottom capacitor electrode, is also coupled to measurement mass (1405).

    Abstract translation: 一种包括用于检测加速度的测量质量体（1405）的加速度计，所述测量质量体包括具有空腔的壳体，位于所述空腔内的一个或多个弹簧质量组件（1400），其中每个弹簧质量组件（1400）包括支撑结构（1410） 包括耦合到支撑结构（1410）的一个或多个弹性折叠梁（1415a-1415d），并且测量质量块（1405）耦合到重新调谐折叠梁（1415a-1415d），其中一个或多个电极图案耦合到 弹簧质量组件（1400），其中包括顶部电容器电极的顶盖晶片耦合到测量质量块（1405），并且包括底部电容器电极的底盖晶片也耦合到测量质量块（1405） 。

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