公开(公告)号：CN113692639B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202080025487.2

申请日：2020-05-26

Applicant: JX金属株式会社

Inventor： 井谷贤哉 ,  栗田英树 ,  林英昭

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明提供一种主面与定向平面相接的棱线的直线性的精度良好的磷化铟基板以及磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在主面与定向平面相接的在棱线上，除了从棱线的两端起向内侧3mm的长度部分以外，在棱线上以2mm的间隔设定从起点至终点的多个测定点，将连结起点和终点的直线设为基准线，将各测定点距基准线的距离设为各测定点的偏差时，偏差的最大值为棱线的长度的1000分之1以下。

公开(公告)号：CN110366612A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201880004429.4

申请日：2018-09-14

Applicant: JX金属株式会社

Inventor： 山田浩平 ,  村上幸司 ,  井谷贤哉

IPC: C30B29/48 ,  C30B11/02 ,  C30B33/02 ,  H01L31/0296

Abstract: 本发明提供一种碲化锌镉(CdZnTe)单晶、及它的有效制造方法，该碲化锌镉(CdZnTe)单晶具有面积为100mm2以上、且移动率寿命乘积(μτ乘积)成为1.0×10-3cm2/V以上的区域为整体的50％以上即在宽范围成为高μτ乘积的主面。

公开(公告)号：CN113692639A

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN202080025487.2

申请日：2020-05-26

Applicant: JX金属株式会社

Inventor： 井谷贤哉 ,  栗田英树 ,  林英昭

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明提供一种主面与定向平面相接的棱线的直线性的精度良好的磷化铟基板以及磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在主面与定向平面相接的在棱线上，除了从棱线的两端起向内侧3mm的长度部分以外，在棱线上以2mm的间隔设定从起点至终点的多个测定点，将连结起点和终点的直线设为基准线，将各测定点距基准线的距离设为各测定点的偏差时，偏差的最大值为棱线的长度的1000分之1以下。

公开(公告)号：CN113646873A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202080025556.X

申请日：2020-05-26

Applicant: JX金属株式会社

Inventor： 井谷贤哉 ,  栗田英树 ,  林英昭

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  C30B29/40

Abstract: 本发明提供一种定向平面的平坦度的精度良好的磷化铟基板以及使用了该磷化铟基板的磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在定向平面端面的长尺寸方向上，在除了从定向平面端面的两端起向内侧3mm的宽度部分以外的面中，以基板厚度的5分之1的间隔设定四根剖面曲线，在分别测定四根剖面曲线中的JIS B 0601：2013中规定的最大高度Pz时，四根剖面曲线的最大高度Pz的最大值与最小值之差为定向平面端面的长尺寸方向的长度的10000分之1.50以下。