-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113646896B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202080025616.8
申请日：2020-12-23
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过背磨等方法从晶片背面进行研磨时，晶片边缘的尖锐得到抑制的磷化铟基板。一种磷化铟基板，其特征在于，在晶片中取与主面平行的平面A时，包含晶片边缘与平面A的交线且与晶片边缘相切的平面B与平面A的向晶片外侧方向延长的面在主面侧所成的角θ，就距主面的距离成为100μm以上且200μm以下的所有平面A而言均为0°＜θ≤110°，在与晶片边缘正交的剖面中，至少在主面侧具有边缘圆角，主面侧的边缘圆角的曲率半径Rf为200～350μm。
-
公开(公告)号：CN113646873A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025556.X
申请日：2020-05-26
Applicant: JX金属株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/306 , C30B29/40
Abstract: 本发明提供一种定向平面的平坦度的精度良好的磷化铟基板以及使用了该磷化铟基板的磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在定向平面端面的长尺寸方向上，在除了从定向平面端面的两端起向内侧3mm的宽度部分以外的面中，以基板厚度的5分之1的间隔设定四根剖面曲线，在分别测定四根剖面曲线中的JIS B 0601：2013中规定的最大高度Pz时，四根剖面曲线的最大高度Pz的最大值与最小值之差为定向平面端面的长尺寸方向的长度的10000分之1.50以下。
-
公开(公告)号：CN113692639A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202080025487.2
申请日：2020-05-26
Applicant: JX金属株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/306 , C30B29/40
Abstract: 本发明提供一种主面与定向平面相接的棱线的直线性的精度良好的磷化铟基板以及磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在主面与定向平面相接的在棱线上，除了从棱线的两端起向内侧3mm的长度部分以外，在棱线上以2mm的间隔设定从起点至终点的多个测定点，将连结起点和终点的直线设为基准线，将各测定点距基准线的距离设为各测定点的偏差时，偏差的最大值为棱线的长度的1000分之1以下。
-
公开(公告)号：CN113646896A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025616.8
申请日：2020-12-23
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过背磨等方法从晶片背面进行研磨时，晶片边缘的尖锐得到抑制的磷化铟基板。一种磷化铟基板，其特征在于，在晶片中取与主面平行的平面A时，包含晶片边缘与平面A的交线且与晶片边缘相切的平面B与平面A的向晶片外侧方向延长的面在主面侧所成的角θ，就距主面的距离成为100μm以上且200μm以下的所有平面A而言均为0°＜θ≤110°，在与晶片边缘正交的剖面中，至少在主面侧具有边缘圆角，主面侧的边缘圆角的曲率半径Rf为200～350μm。
-
公开(公告)号：CN113692639B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202080025487.2
申请日：2020-05-26
Applicant: JX金属株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/306 , C30B29/40
Abstract: 本发明提供一种主面与定向平面相接的棱线的直线性的精度良好的磷化铟基板以及磷化铟基板的制造方法。一种磷化铟基板，其特征在于，所述磷化铟基板具有主面和定向平面，在主面与定向平面相接的在棱线上，除了从棱线的两端起向内侧3mm的长度部分以外，在棱线上以2mm的间隔设定从起点至终点的多个测定点，将连结起点和终点的直线设为基准线，将各测定点距基准线的距离设为各测定点的偏差时，偏差的最大值为棱线的长度的1000分之1以下。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.024 seconds)
