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公开(公告)号：CN110257782B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201910536944.3
申请日：2017-02-28
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供圆筒轴方向的长度为470mm以上的圆筒型烧结体、圆筒型溅射靶及它们的制造方法。本发明的一个实施方式的圆筒型溅射靶的制造方法为：在具有圆筒型烧结体的圆筒型溅射靶的制造方法中，将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，在从比在圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。另外，在另一方式中，也可以将台座配置于腔室中，用于供氧的配管从腔室之外连接到供氧口。
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公开(公告)号：CN108624850B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201810231854.9
申请日：2018-03-20
Applicant: JX金属株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供即使衬管沿轴线方向弯曲变形，也能确保与靶材之间的接合材料的所需厚度并使品质提高的溅射靶及其制造方法。溅射靶(1)包括：具有由陶瓷材料构成的沿轴线方向以0.15mm～0.50mm的间隔排列配置的多个圆筒状靶块(2a)的靶材(2)；设在靶材(2)内周侧的圆筒状衬管(3)；介于靶材(2)和衬管(3)之间并用于接合它们的接合材料，沿径向测量时，在沿轴线方向相邻的至少一对靶块的各自外周面中彼此相邻的轴线方向的外缘之间的高低差量为0.50mm以下，至少一个靶块(2a)内的轴线方向的至少一部分接合材料的厚度沿轴线方向变化，至少一个靶块(2a)的接合材料的最小厚度为0.6mm以上且1.4mm以下。
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公开(公告)号：CN108431293A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201780005879.0
申请日：2017-01-26
Applicant: JX金属株式会社
Inventor： 馆野谕
Abstract: 本发明的目的是提供一种圆筒形陶瓷溅射靶材及将该圆筒形陶瓷溅射靶材接合在背衬管上的圆筒形陶瓷溅射靶，由此能够抑制出现电弧、出现结节、出现裂纹的问题，其中所述问题只通过将各种块体特性(晶粒径、相对密度、电导率等)单独设置在适当的范围内是无法防止的。提供一种圆筒形陶瓷溅射靶材，在圆筒形陶瓷溅射靶材上，在靶的轴向上分成四份区域，再将四份区域中的每个在圆周方向上以0°、90°、180°和270°的间隔来划分区域，当在所划分出的每个区域上测量色差ΔE*ab时，色差ΔE*ab不到1.0。
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公开(公告)号：CN110257782A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910536944.3
申请日：2017-02-28
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供圆筒轴方向的长度为470mm以上的圆筒型烧结体、圆筒型溅射靶及它们的制造方法。本发明的一个实施方式的圆筒型溅射靶的制造方法为：在具有圆筒型烧结体的圆筒型溅射靶的制造方法中，将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，在从比在圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。另外，在另一方式中，也可以将台座配置于腔室中，用于供氧的配管从腔室之外连接到供氧口。
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公开(公告)号：CN108624850A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810231854.9
申请日：2018-03-20
Applicant: JX金属株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供即使衬管沿轴线方向弯曲变形，也能确保与靶材之间的接合材料的所需厚度并使品质提高的溅射靶及其制造方法。溅射靶(1)包括：具有由陶瓷材料构成的沿轴线方向以0.15mm～0.50mm的间隔排列配置的多个圆筒状靶块(2a)的靶材(2)；设在靶材(2)内周侧的圆筒状衬管(3)；介于靶材(2)和衬管(3)之间并用于接合它们的接合材料，沿径向测量时，在沿轴线方向相邻的至少一对靶块的各自外周面中彼此相邻的轴线方向的外缘之间的高低差量为0.50mm以下，至少一个靶块(2a)内的轴线方向的至少一部分接合材料的厚度沿轴线方向变化，至少一个靶块(2a)的接合材料的最小厚度为0.6mm以上且1.4mm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105908137A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610087850.9
申请日：2016-02-16
Applicant: JX金属株式会社
Inventor： 馆野谕
IPC: C23C14/34 , H01L21/203
Abstract: 本发明涉及溅射靶，其目的在于，在将多个靶部件接合于基材而得的分割溅射靶中，有效地防止在从靶部件之间的间隙(分割部)露出的基材的构成材料中或衬板的构成材料混入于所形成的薄膜。在与以具有规定的间隔的方式配置靶部件而成的分割部相对应的区域中的基材的表面的凹凸部的凹部的表面主要插入In或In合金，在利用EPMA对基材的与分割部相对应的区域的表面进行分析的情况下，使In或In合金的区域相对于观察面积的面积比率为40％以上且80％以下。
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公开(公告)号：CN105908137B
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201610087850.9
申请日：2016-02-16
Applicant: JX金属株式会社
Inventor： 馆野谕
IPC: C23C14/34 , H01L21/203
Abstract: 本发明涉及溅射靶，其目的在于，在将多个靶部件接合于基材而得的分割溅射靶中，有效地防止在从靶部件之间的间隙(分割部)露出的基材的构成材料中或衬板的构成材料混入于所形成的薄膜。在与以具有规定的间隔的方式配置靶部件而成的分割部相对应的区域中的基材的表面的凹凸部的凹部的表面主要插入In或In合金，在利用EPMA对基材的与分割部相对应的区域的表面进行分析的情况下，使In或In合金的区域相对于观察面积的面积比率为40％以上且80％以下。
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公开(公告)号：CN107236934A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710112294.0
申请日：2017-02-28
Applicant: JX金属株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供圆筒轴方向的长度为470mm以上的圆筒型烧结体、圆筒型溅射靶及它们的制造方法。本发明的一个实施方式的圆筒型溅射靶的制造方法为：在具有圆筒型烧结体的圆筒型溅射靶的制造方法中，将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，在从比在圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。另外，在另一方式中，也可以将台座配置于腔室中，用于供氧的配管从腔室之外连接到供氧口。
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