公开(公告)号：DE112017005271T5

公开(公告)日：2019-08-14

申请号：DE112017005271

申请日：2017-10-17

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： GELLINEAU ANTONIO ARION ,  DZIURA THADDEUS GERARD ,  HENCH JOHN ,  VELDMAN ANDREI ,  ZALUBOVSKY SERGEY

IPC: H01J37/252 ,  H01J37/04

Abstract: Verfahren und Systeme zur Charakterisierung von Abmessungen und Materialeigenschaften von Halbleiterbauelementen durch Ganzstrahl-Röntgenscatterometrie werden beschrieben. Eine Ganzstrahl-Röntgenscatterometriemessung beinhaltet das Beleuchten einer Probe mit einem Röntgenstrahl und das gleichzeitige Erfassen der Intensitäten der resultierenden Nullbeugungsordnung und höherer Beugungsordnungen für einen oder mehrere Einfallswinkel relativ zur Probe. Die gleichzeitige Messung des direkten Strahls und der gestreuten Ordnungen ermöglicht Messungen mit hohem Durchsatz bei verbesserter Genauigkeit. Das Ganzstrahl-Röntgenscatterometriesystem umfasst einen oder mehrere Photonenzähldetektoren mit einem hohen dynamischen Bereich und dicken, hochabsorbierenden Kristallsubstraten, die den direkten Strahl mit minimaler parasitärer Rückstreuung absorbieren. In anderen Aspekten werden modellbasierte Messungen basierend auf dem Strahl der nullten Beugungsordnung durchgeführt, und die Messleistung des Ganzstrahl-Röntgenscatterometriesystems wird basierend auf den Eigenschaften des gemessenen Strahls nullter Ordnung geschätzt und gesteuert.

公开(公告)号：WO2011146643A3

公开(公告)日：2012-03-15

申请号：PCT/US2011037030

申请日：2011-05-18

Applicant: TOKYO ELECTRON LTD ,  KLA TENCOR CORP ,  VELDMAN ANDREI ,  HENCH JOHN J

Inventor： VELDMAN ANDREI ,  HENCH JOHN J

IPC: G06F19/00

CPC classification number: G02B5/1847

Abstract: A method for improving computation efficiency for diffraction signals in optical metrology is described. The method includes simulating a set of spatial harmonics orders for a grating structure. The set of spatial harmonics orders is truncated to provide a first truncated set of spatial harmonics orders based on a first pattern. The first truncated set of spatial harmonics orders is modified by an iterative process to provide a second truncated set of spatial harmonics orders based on a second pattern, the second pattern different from the first pattern. Finally, a simulated spectrum is provided based on the second truncated set of spatial harmonics orders.

Abstract translation: 描述了一种提高光学测量中衍射信号的计算效率的方法。 该方法包括模拟光栅结构的一组空间谐波阶数。 所述空间谐波阶的集合被截断以提供基于第一模式的空间谐波次序的第一截断集合。 通过迭代过程来修改第一截断的空间谐波级组，以提供基于第二模式的第二截距空间谐波级的集合，第二模式不同于第一模式。 最后，基于空间谐波次序的第二截断组提供了模拟频谱。

公开(公告)号：EP2766693A4

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：EP12839434

申请日：2012-10-11

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SHCHEGROV ANDREI V ,  ROTTER LAWRENCE D ,  WANG DAVID Y ,  VELDMAN ANDREI ,  PETERLINZ KEVIN ,  BRADY GREGORY ,  SHAUGHNESSY DERRICK

IPC: G01B11/06 ,  G03F7/20

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01B11/0616 ,  G01N21/4738 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/213 ,  G03F7/70608 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633