公开(公告)号：EP2193098A4

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：EP08753588

申请日：2008-05-19

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： YU HAN YOUNG ,  KIM BYUNG HOON ,  KIM AN SOON ,  BAEK IN BOK ,  AH CHIL SEONG ,  YANG JONG HEON ,  PARK CHAN WOO ,  AHN CHANG GEUN

IPC: B82B1/00 ,  B81B3/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N33/00 ,  H01J49/00 ,  H01J49/42 ,  H01L29/06 ,  H01L29/76 ,  H01L29/775

CPC classification number: H01J49/4205 ,  B81B7/0025 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/0271 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N2291/0257 ,  H01J49/0018 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/7613 ,  H01L29/775 ,  H03H2009/02314