公开(公告)号：AT515791T

公开(公告)日：2011-07-15

申请号：AT06823881

申请日：2006-12-04

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： BAEK IN BOK ,  LEE SEONG JAE ,  YANG JONG HEON ,  AHN CHANG GEUN ,  YU HAN YOUNG ,  IM KI JU

IPC: H01L21/336

公开(公告)号：EP2193098A4

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：EP08753588

申请日：2008-05-19

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： YU HAN YOUNG ,  KIM BYUNG HOON ,  KIM AN SOON ,  BAEK IN BOK ,  AH CHIL SEONG ,  YANG JONG HEON ,  PARK CHAN WOO ,  AHN CHANG GEUN

IPC: B82B1/00 ,  B81B3/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N33/00 ,  H01J49/00 ,  H01J49/42 ,  H01L29/06 ,  H01L29/76 ,  H01L29/775

CPC classification number: H01J49/4205 ,  B81B7/0025 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/0271 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N2291/0257 ,  H01J49/0018 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/7613 ,  H01L29/775 ,  H03H2009/02314

公开(公告)号：EP1958243A4

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：EP06823881

申请日：2006-12-04

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： BAEK IN BOK ,  LEE SEONG JAE ,  YANG JONG HEON ,  AHN CHANG GEUN ,  YU HAN YOUNG ,  IM KI JU

IPC: H01L21/336

CPC classification number: H01L29/66439 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/28123 ,  H01L29/66484 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/66575 ,  H01L29/66772 ,  H01L29/7613 ,  H01L29/7831