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公开(公告)号:FR2953646A1
公开(公告)日:2011-06-10
申请号:FR1001792
申请日:2010-04-27
Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM
Inventor: KIM SANGHOON , KIM GYUNGOCK , KIM IN GYOO , SUH DONGWOO , JOO JIHO , JANG KI SEOK
IPC: H01L31/103 , G02B6/42 , H01L31/0368
Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication de photodétecteur. Le procédé comprend : la formation d'une première couche semi-conductrice monocristalline (121) et d'un guide d'onde optique (123) faisant saillie à partir de la première couche semi-conductrice monocristalline (121) ; la formation d'une couche d'isolation (130) sur la première couche semi-conductrice monocristalline (121) pour recouvrir le guide d'onde optique (123) ; la formation d'une ouverture (131) par gravure de la couche d'isolation (130) de manière à exposer la surface supérieure du guide d'onde optique (123) ; la formation d'une seconde couche semi-conductrice monocristalline (132) à partir de la surface supérieure du guide d'onde optique exposé (123), dans l'ouverture (131) ; et la formation de manière sélective d'une couche polysemi-conductrice (133) à partir de la partie supérieure de la seconde couche semi-conductrice monocristalline (132), la couche polysemi-conductrice (133) étant dopée avec des dopants.
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公开(公告)号:FR2949872A1
公开(公告)日:2011-03-11
申请号:FR1057116
申请日:2010-09-08
Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM
Inventor: KIM GYUNGOCK , PARK JEONG WOO , YOU JONGBUM , KIM SANG GI , KIM SANGHOON , KIM IN GYOO , JOO JIHO , KIM DUK JUN , SUH DONGWOO , PARK SAHNGGI , JANG KI SEOK , PYO JUNGHYUNG , KIM KAP-JOONG , KIM DO WON , PARK DAE SEO
IPC: G02F1/025
Abstract: L'invention concerne un dispositif de modulation électro-optique. Le dispositif de modulation électro-optique comprend un guide d'onde optique (WG) ayant une structure verticale dont les parois latérales sont utilisées pour configurer une jonction.
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