PHOTODETECTEUR A BASE DE GERMANIUM A BASSE TENSION, A GAIN ELEVE ET A VITESSE ELEVEE ET SON PROCEDE DE FABRICATION

    公开(公告)号:FR2994617A1

    公开(公告)日:2014-02-21

    申请号:FR1357797

    申请日:2013-08-06

    Abstract: La présente invention concerne un photodétecteur à semi-conducteur contenant du germanium, ayant pour base une tranche de silicium, conçu pour présenter comme propriétés un gain élevé, une sensibilité élevée et une vitesse élevée à une tension relativement basse. Une couche de multiplication de porteurs (20) à base de germanium (par exemple, une couche de germanium individuelle ou une couche à super-réseau de germanium et de silicium) peut être formée sur une tranche de silicium, une couche de charges (22) à base de germanium peut être formée sur la couche de multiplication de porteurs, une couche d'absorption (30) à base de germanium peut être formée sur la couche de charges et une seconde couche de contact (32) à base de polysilicium peut être formée sur la couche d'absorption. La couche d'absorption (30) peut être conçue de façon à inclure des points ou fils quantiques à base de germanium.

    PHOTODETECTEUR ET SON PROCEDE DE FABRICATION

    公开(公告)号:FR2953646A1

    公开(公告)日:2011-06-10

    申请号:FR1001792

    申请日:2010-04-27

    Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication de photodétecteur. Le procédé comprend : la formation d'une première couche semi-conductrice monocristalline (121) et d'un guide d'onde optique (123) faisant saillie à partir de la première couche semi-conductrice monocristalline (121) ; la formation d'une couche d'isolation (130) sur la première couche semi-conductrice monocristalline (121) pour recouvrir le guide d'onde optique (123) ; la formation d'une ouverture (131) par gravure de la couche d'isolation (130) de manière à exposer la surface supérieure du guide d'onde optique (123) ; la formation d'une seconde couche semi-conductrice monocristalline (132) à partir de la surface supérieure du guide d'onde optique exposé (123), dans l'ouverture (131) ; et la formation de manière sélective d'une couche polysemi-conductrice (133) à partir de la partie supérieure de la seconde couche semi-conductrice monocristalline (132), la couche polysemi-conductrice (133) étant dopée avec des dopants.

Patent Agency Ranking