公开(公告)号：KR20150102750A

公开(公告)日：2015-09-07

申请号：KR20150079633

申请日：2015-06-05

Applicant: KOREA RES INST OF STANDARDS

Inventor： LEE GEUN WOO ,  LEE SOO HEYONG

IPC: C30B7/02 ,  C30B30/04

Abstract: 본 발명은 정전기 부양 결정 성장 장치 및 정전기 부양 결정 성장 방법을 제공한다. 이 정전기 부양 결정 성장 장치는 상부 전극; 상기 상부 전극과 수직으로 이격되어 배치된 하부 전극; 상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 수직 정전기장을 인가하는 전원부; 및 상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 용액을 방출하여 용액 방울(solution droplet)을 형성하는 방울 디스펜서(droplet dispenser)를 포함한다. 상기 용액 방울은 하전 상태(cahrged state)로 유지되고 중력에 반하여 상기 수직 정전기장에 의하여 정전기 부양된다. 상기 용액 방울은 상기 정전기 부양된 상태에서 증발하고, 상기 용액에 용해된 용질은 결정으로 성장한다.

Abstract translation: 本发明提供静电悬浮晶体生长装置和静电悬浮晶体生长方法。 静电悬浮晶体生长装置包括：上电极; 设置成与上电极垂直间隔开的下电极; 电源单元，用于在上电极和下电极之间施加垂直静电场; 以及通过在上电极和下电极之间分配溶液来形成液滴的液滴分配器。 溶液液滴保持在带电状态，并通过垂直静电场抵抗重力而静电悬浮。 溶液液滴可以在静电场下以悬浮状态蒸发，溶解在溶液中的溶质以晶体生长。