公开(公告)号：KR20200130473A

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：KR20207031652

申请日：2019-04-02

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： SHAREEF IQBAL A ,  SMITH DENNIS ,  DAUGHERTY JOHN E

IPC: G01F1/48 ,  G01F1/84

Abstract: 유체전달시스템은 N 개의제 1 밸브들을포함한다. N 개의제 1 밸브들의유입구들은 N 개의가스소스들에각각유체적으로연결되고, 여기서 N은 0보다큰 정수이다. N 개의질량유량제어기들은 N 개의제 1 밸브들중 대응하는밸브의유출구와유체로연통하는유입구를갖는 MEMS (microelectromechanical) 코리올리 (Coriolis) 유량센서를포함한다. 제 2 밸브는 MEMS 코리올리유량센서의유출구와유체로연통하는유입구및 프로세싱챔버에배치된기판을처리하기위해유체를공급하는유출구를갖는다. 제어기는 MEMS 코리올리유량센서와통신하고 MEMS 코리올리유량센서를통해흐르는유체의질량유량레이트 (mass flow rate) 및밀도중 적어도하나를결정하도록구성된다.

公开(公告)号：KR20200128183A

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：KR20207031376

申请日：2019-03-28

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： SMITH DENNIS ,  REIMER PETER ,  GOPALAKRISHNAN SUDHAKAR

IPC: G01F1/84 ,  G05D7/06 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

Abstract: 질량유량제어기어셈블리는캐비티, 복수의내부통로들, 제 1 유입구, 제 1 유출구, 제 2 유입구, 및제 2 유출구를규정하는하우징을포함한다. 밸브가하우징에연결되고, 하우징의제 2 유출구에유체로커플링된유입구및 하우징의제 2 유입구에유체로커플링된유출구를갖는다. 밸브는하우징의제 2 유출구로부터하우징의제 2 유입구로의유체플로우를제어하도록구성된다. MEMS (microelectromechanical) 코리올리 (Coriolis) 유량센서가캐비티내에배치되고, 복수의내부통로들중 적어도하나에의해하우징의제 1 유입구에유체로커플링된유입구를포함하고그리고 MEMS 코리올리유량센서를통해흐르는유체의질량유량레이트및 밀도중 적어도하나를측정하도록구성된다. MEMS 코리올리유량센서의유출구가복수의내부통로들중 적어도하나에의해하우징의제 2 유출구에유체로커플링된다. 하우징의제 2 유입구는복수의내부통로들중 적어도하나에의해하우징의제 1 유출구에유체로커플링된다.