公开(公告)号：DE102009049050B4

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：DE102009049050

申请日：2009-10-12

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： WARKEN FLORIAN DIPL PHYS ,  WIDZGOWSKI BERND DIPL ING ,  BIRK HOLGER DR ,  SEYFRIED VOLKER DR

IPC: G02B21/06

Abstract: Zum Stabilisieren einer Lichtleistung eines Beleuchtungslichtstrahls (40) für ein Scan-Mikroskop (41) wird der Beleuchtungslichtstrahl (40) innerhalb eines Scanfeldes (80) abgelenkt. Das Scanfeld (80) hat zumindest ein Bildfeld (B), in dem ein Probenbereich einer Probe (58) optisch abtastbar ist, und das zumindest einen Blindbereich (X, V, R), in dem keine optische Abtastung der Probe (58) erfolgt. Wenn der Beleuchtungslichtstrahl (40) in Richtung des Blindbereichs (X, V, R) abgelenkt wird, wird ein Messwert (MESS) erfasst, der repräsentativ für die Lichtleistung des auf die Probe (58) treffenden Beleuchtungslichtstrahls (40) ist. Abhängig von dem Messwert (MESS) wird die Lichtleistung des Beleuchtungslichtstrahls (40) eingestellt.