公开(公告)号：DE102009057304B4

公开(公告)日：2025-01-23

申请号：DE102009057304

申请日：2009-12-07

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  SEYFRIED VOLKER DR

IPC: G02B21/00 ,  H10F30/225 ,  H10F77/00

Abstract: Vorrichtung zum Untersuchen einer Probe (30), umfassend ein Mikroskop,mit einer Lichtquelle (22), die einen Beleuchtungslichtstrahl (23) erzeugt, einer Scaneinheit (24), die den über ein Objektiv auf die Probe (30) gelenkten Beleuchtungslichtstrahl (23) ablenkt und dadurch einen Fokusbereich des Beleuchtungslichtstrahls (23) innerhalb eines vorgegebenen Scanfelds auf oder in der Probe (30) bewegt,mit einer ersten Detektoranordnung (38), die zwei oder mehr photosensitive Halbleiterelemente (50) umfasst und die einen von der Probe (30) in Beleuchtungsrichtung ausgehenden und von der Scaneinheit (24) nicht abgelenkten ersten Detektions-Lichtstrahl (40) detektiert und wobei die Vorrichtung gekennzeichnet ist,dass die Vorrichtung mindestens eine zweite Detektoranordnung (36) umfasst, die zwei oder mehr photosensitive Halbleiterelemente (50) umfasst und die einen von der Probe (30) entgegen der Beleuchtungsrichtung ausgehenden und von der Scaneinheit (24) nicht abgelenkten zweiten Detektions-Lichtstrahl (31) detektiert,dass die zwei oder mehr Halbleiterelemente (50) der ersten und der zweiten Detektoranordnung (36, 38) jeweils parallel geschaltet und jeweils über eine gemeinsame Ausgangsleitung mit einer Auswerteeinheit verbunden sind,wobei die Halbleiterelemente (50) jeweils eine Lawinenfotodiode aufweisen, die oberhalb ihrer Durchbruchspannung im Geigermodus betrieben wird.

公开(公告)号：DE102010061612A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：DE102010061612

申请日：2010-12-29

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36

Abstract: Zum Ermitteln von Scankoordinatenwerten (&phgr;n, &thetas;n) zum Betreiben einer Scaneinheit (28) eines konfokalen Scanmikroskops (20) werden abhängig von kartesischen Bildkoordinatenwerten (Xn, Yn) von Bildpunkten eines zu erstellenden Bildes (60) einer Probe (32) mit Hilfe einer Koordinatentransformation der kartesischen Bildkoordinatenwerte (Xn, Yn) in ein Kugelkoordinatensystem sphärische Scankoordinatenwerte (&phgr;n, &thetas;n) ermittelt. Die Scaneinheit (28) wird abhängig von den sphärischen Scankoordinatenwerten (&phgr;n, &thetas;n) betrieben.

公开(公告)号：DE102010007728A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：DE102010007728

申请日：2010-02-12

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： SEYFRIED VOLKER DR ,  WIDZGOWSKI BERND ,  BIRK HOLGER DR

IPC: G02B21/00 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24

Abstract: Eine Vorrichtung zum Scannen eines Objekts hat eine Fokussieroptik (30), die einen Beleuchtungslichtstrahl (24) auf einen zu untersuchenden Bereich des Objekts fokussiert. Eine Aktoranordnung ist mit der Fokussieroptik (30) gekoppelt und bewegt die Fokussieroptik (30) gemäß einem vorgegebenen Abtastmuster quer zu einer Mittelachse des Beleuchtungslichtstrahls (24) in einer Referenzposition des Beleuchtungslichtstrahls (24). Ein Frontglas (38) ist in Richtung des Beleuchtungslichtstrahls (24) gesehen nach der Fokussieroptik (30) angeordnet. Ein internes Immersionsmedium (40) ist zwischen der Fokussieroptik (30) und dem Frontglas (38) angeordnet. Zwischen dem Frontglas (38) und dem Objekt kann ein externes Immersionsmedium (48) eingebracht werden.

公开(公告)号：DE50114278D1

公开(公告)日：2008-10-16

申请号：DE50114278

申请日：2001-06-15

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  STORZ RAFAEL DR

IPC: G02B6/00 ,  G02B21/00 ,  G02B5/00 ,  G02B5/04 ,  G02B5/18 ,  G02B5/22 ,  G02B6/02 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/255 ,  G02B21/06 ,  G02B27/00 ,  G02F1/35 ,  G02F1/39 ,  H01S3/00 ,  H01S3/16

Abstract: The arrangement has a scanning microscope e.g. confocal microscope, and a laser formed as a pulsed laser (1). An optical component is positioned between the laser and a lens (12), where light generated by the laser is spectrally processed by a unique cycle such that a spectral illumination light is emitted from the laser. An optical fiber (20) forms the optical component, and is comprised of photonic-bad-gap material. An optical diode is provided between the laser and fiber for suppressing back reflection of light rays originated from ends of the fiber.

公开(公告)号：DE102009048710B4

公开(公告)日：2020-04-02

申请号：DE102009048710

申请日：2009-10-08

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： WIDZGOWSKI BERND DIPL -ING ,  SEYFRIED VOLKER DR ,  BIRK HOLGER DR

IPC: G02B21/06 ,  F21V9/40 ,  G02F1/01 ,  G05F1/10

Abstract: Lasersystem (20) für ein Mikroskop,mit einem Lasermodul (22), das einen Lichtstrahl (24) erzeugt,einer Strahlkorrekturvorrichtung (26), die der Lichtstrahl (24) durchdringt und die eine Abweichung eines Ist-Werts mindestens eines Parameters des Lichtstrahls (24) von einem vorgegebenen Soll-Wert des Parameters korrigiert, wobei die Strahlkorrekturvorrichtung (26) einen Frequenzumsetzer (45) aufweist, mittels dessen eine Frequenz des Lichtstrahls in eine vorgegebene Frequenz umgesetzt wird,einem Lichtleiter (31), in den der korrigierte Lichtstrahl (28) eingekoppelt wird,einem Messelement (34), das dem Lichtleiter (31) nachgeschaltet ist und das einen Ist-Wert der Intensität zumindest eines Teilstrahls (32) des korrigierten Lichtstrahls (28) erfasst,und mit einer äußeren Regeleinrichtung (37), die mit einer Energieversorgung (39) des Lasermoduls (22) und mit dem Messelement (34) gekoppelt ist und die mittels der Energieversorgung (39) den Ist-Wert der Intensität auf einen vorgegebenen Soll-Wert der Intensität regelt.

公开(公告)号：DE10257120B4

公开(公告)日：2020-01-16

申请号：DE10257120

申请日：2002-12-05

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： KNEBEL WERNER DR ,  BIRK HOLGER DR ,  STORZ RAFAEL DR

IPC: G02B21/00 ,  G01J3/36 ,  G01N21/64 ,  G02F1/33

Abstract: Rastermikroskop zum Abbilden eines Objekts (1), mit einer Lichtquelle (2), einem nahezu stufenlos variabel einstellbaren spektral selektiven Element (8), einer nahezu stufenlos variabel einstellbaren spektral selektiven Detektionseinrichtung (4), einem von der Lichtquelle (2) bis zum Objekt (1) verlaufenden Beleuchtungsstrahlengang (3), einem vom Objekt (1) zur Detektionseinrichtung (4) verlaufenden Detektionsstrahlengang (5), wobei mit dem spektral selektiven Element (8) Licht der Lichtquelle (2) zur Objektbeleuchtung selektierbar ist, wobei mit dem spektral selektiven Element (8) das am Objekt (1) reflektierte und/oder gestreute selektierte Licht der Lichtquelle (2) aus dem Detektionsstrahlengang (5) ausblendbar ist, wobei zumindest ein Wellenlängenbereich des im Detektionsstrahlengang (5) verlaufenden Lichts mit der spektral selektiven Detektionseinrichtung (4) detektierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Beleuchtungsstrahlengang (3) eine Beleuchtungsspaltblende (11) vorgesehen und dazu ausgelegt ist, in einem Bereich des Objekts (1) ein linienförmiges Beleuchtungsmuster zu erzeugen, dass im Detektionsstrahlengang (5) eine Detektionsspaltblende (13) vorgesehen und dazu ausgelegt ist, von dem linienförmigen Beleuchtungsmuster in einer Fokalebene herrührendes Licht zu empfangen, um einen konfokalen Spaltscanner bereitzustellen, dass die Spaltlänge und/oder die Spaltbreite der Beleuchtungsspaltblende (11) und/oder der Detektionsspaltblende (13) variabel einstellbar ist, und dass die spektral selektive Detektionseinrichtung (4) Mittel (23) zur spektralen Zerlegung des im Detektionsstrahlengang (5) verlaufenden Lichts, Mittel (24, 40) zum Selektieren eines ersten Spektralbereichs (25) zur Detektion mit einem ersten Detektor (6) und Mittel (24, 40) zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht selektierten Spektralbereichs zur Detektion mit einem zweiten Detektor (7) aufweist.

公开(公告)号：DE50115456D1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：DE50115456

申请日：2001-06-01

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  STORZ RAFAEL DR ,  ENGELHARDT JOHANN DR

IPC: G02B6/00 ,  G02B21/00 ,  G02B5/00 ,  G02B5/04 ,  G02B5/18 ,  G02B5/22 ,  G02B6/02 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/255 ,  G02B21/06 ,  G02B27/00 ,  G02F1/35 ,  G02F1/39 ,  H01S3/00 ,  H01S3/16

Abstract: The arrangement has a scanning microscope e.g. confocal microscope, and a laser formed as a pulsed laser (1). An optical component is positioned between the laser and a lens (12), where light generated by the laser is spectrally processed by a unique cycle such that a spectral illumination light is emitted from the laser. An optical fiber (20) forms the optical component, and is comprised of photonic-bad-gap material. An optical diode is provided between the laser and fiber for suppressing back reflection of light rays originated from ends of the fiber.

公开(公告)号：DK1186929T4

公开(公告)日：2010-01-25

申请号：DK01114039

申请日：2001-06-08

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  STORZ RAFAEL DR ,  ENGELHARDT JOHANN DR

IPC: G02B21/00 ,  G02B6/02 ,  G02B6/122 ,  G02B6/255 ,  G02B21/06 ,  G02B27/00 ,  H01S3/00 ,  H01S3/16

公开(公告)号：DE50015213D1

公开(公告)日：2008-07-31

申请号：DE50015213

申请日：2000-11-09

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： STORZ RAFAEL DR ,  ENGELHARDT JOHANN DR ,  BIRK HOLGER DR ,  BRADL JOACHIM DR

IPC: G02B21/00 ,  G02B26/10

Abstract: The invention concerns an apparatus for beam deflection, in particular for scanning microscopy, a light beam being deflectable by a mirror arrangement that is alternatingly rotatable by a rotary drive. The apparatus for beam deflection makes possible maximum variability in terms of frequency range and maximally achievable oscillation frequency, and is thus usable in flexible and versatile fashion. It moreover allows almost any desired angular offset from the zero point position to be established, and is characterized in that the rotary drive comprises two mutually independent drive units which rotate the mirror arrangement, together or mutually independently, about a rotation axis.

公开(公告)号：DK1186929T3

公开(公告)日：2006-03-13

申请号：DK01114039

申请日：2001-06-08

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  STORZ RAFAEL DR ,  ENGELHARDT JOHANN DR

IPC: G02B21/00 ,  G02B6/02 ,  G02B6/122 ,  G02B6/255 ,  G02B21/06 ,  G02B27/00 ,  H01S3/00 ,  H01S3/16

Abstract: The arrangement for studying microscopic preparations with a scanning microscope consists of a laser (1) and an objective (12), which focuses the light produced by the laser (1) onto a sample (13) to be studied, an optical waveguide element (3), which transports the light produced by the laser (1), being provided between the laser (1) and the objective (12). The optical waveguide element is constructed from a plurality of micro-optical structure elements which have at least two different optical densities. It is particularly advantageous if the optical waveguide element (3) consists of photonic band gap material and is configured as an optical fiber.