Wartungsvorhersage für Baugruppen eines Mikroskops

    公开(公告)号:DE102020132787A1

    公开(公告)日:2022-06-09

    申请号:DE102020132787

    申请日:2020-12-09

    Abstract: Eine Baugruppe (100) für ein Mikroskop umfasst mindestens einen Aktor (104) und/oder mindestens einen Sensor (102), sowie eine Steuer- und Auswerteeinheit (106). Die Steuer- und Auswerteeinheit (106) ist ausgebildet, aktuelle Parameterwerte von Parametern des Sensors (102) und/oder des Aktors (104) zu ermitteln und die ermittelten Parameterwerte mit Hilfe eines in der Steuer- und Auswerteeinheit (106) gespeicherten statistischen Modells (112) zu analysieren. Weiterhin ist die Steuer- und Auswerteeinheit (106) ausgebildet, auf Basis dieser Analyse einen Betriebszustandswert zu ermitteln, der einen Betriebszustand der Baugruppe charakterisiert und den Betriebszustand als einen abnormalen Betriebszustand bestimmt, wenn der Betriebszustandswert eine vorbestimmte Bedingung in Bezug auf einen Schwellenwert erfüllt.

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