公开(公告)号：DE112013004389T5

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：DE112013004389

申请日：2013-08-27

Applicant: LUXVUE TECHNOLOGY CORP

Inventor： HIGGINSON JOHN A ,  BIBL ANDREAS ,  ALBERTALLI DAVID

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68

Abstract: Es werden Systeme und Verfahren zum Transfer einer Mikrovorrichtung von einem Trägersubstrat offenbart. In einer Ausführungsform enthält ein Massentransferinstrument eine Gelenk-Transferkopf-Einheit, einen Trägersubstrathalter und eine Stellgerät-Einheit, um ein räumliches Verhältnis zwischen einer Gelenk-Transferkopf-Einheit und dem Trägersubstrathalter anzupassen. Die Gelenk-Transferkopf-Einheit kann eine Verbindung zu einer elektrostatischen Spannungsquelle und ein Substrat, das ein Array von elektrostatischen Transferköpfen trägt, enthalten.