OPTICAL SWITCHING MATRIX AND ITS MANUFACTURING METHOD

    公开(公告)号:JP2004004713A

    公开(公告)日:2004-01-08

    申请号:JP2003100764

    申请日:2003-04-03

    Applicant: MEMSCAP

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical switching matrix in which the insertion loss with respect to a propagating beam is reduced. SOLUTION: The optical switching matrix includes at least one set of input optical fibers (12) and at least one set of output optical fibers (14), which are arranged so as to be perpendicular each other, a set of movable mirrors (5, 13), which are arranged at the cross points of the directions defined by a plurality of optical fibers, and a set of channels and a set of channels formed between the mirrors. Another set of mirrors are formed on a first wafer (2); the first wafer is covered with a second wafer (21); a plurality of channels (38) are formed between protruded parts (34) under the second substrate wafer; and the protruded parts are provided with housings (33), in which the movable mirrors can be moved. COPYRIGHT: (C)2004,JPO

    MATRICE DE COMMUTATEURS OPTIQUES ET PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TELLE MATRICE

    公开(公告)号:CA2423210A1

    公开(公告)日:2003-10-11

    申请号:CA2423210

    申请日:2003-03-20

    Applicant: MEMSCAP

    Abstract: Matrice de commutateurs optiques, réalisée à partir d'un substrat à base de matériau semi-conducteur ou diélectrique, comportant : - au moins un ensemble de fibres optiques d'entrée (12) et au moins un ensemble de fibres optiques de sortie (14) orientés sensiblement perpendiculairement l'un par rapport à l'autre, - un ensemble de miroirs mobiles (5,13) disposés aux intersections des directions définies par les différentes fibres optiques, chaque miroir (13) étant apte à se déplacer pour assurer la réflexion d'un faisceau issu d'une fibre optique d'entrée à destination d'une fibre optique de sortie, - un ensemble de canaux définis entre les miroirs, et à l'intérieur desquels se propagent les différents faisceaux avant et après avoir rencontré les miroirs, caractérisée en ce que : - l'ensemble de miroirs est réalisé sur une première galette de substrat (2), ladite première galette étant recouverte d'une seconde galette de substrat (20), - les différents canaux (38) sont formés entre des zones en excroissance (34) présentes sous la seconde galette de substrat, lesdites zones en excroissance comportant des logements (33) à l'intérieur desquels peuvent se déplacer les miroirs mobiles.

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