公开(公告)号：JP2003152488A

公开(公告)日：2003-05-23

申请号：JP2002228011

申请日：2002-08-05

Applicant: MEMSCAP

Inventor： MHANI AHMED ,  FEDELI JEAN-MARC

IPC: B81B7/02 ,  H01F21/06 ,  H01F27/00 ,  H03H5/12 ,  H03H7/12 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micromachine component which is increased in resonance frequency for a filter manufactured by using an MEMS (Microelectromechanical System). SOLUTION: The micromachine component 1 is manufactured on a semiconductor motherboard 10, is provided with input terminals 7, 8 and output terminals 26, 27, and exhibits a filtering function. The component 1 is provided with a metal input coil 2 which is connected to the terminals 7, 8 and can generate a magnetic field when a current flows therethrough; a movable constituent 3 which is connected to the board by at least one deformation portion, includes at least one region 11, 12 formed of a ferromagnetic material, and can move under a force to which the region 11 made of a ferromagnetic material is exposed and which is generated by the magnetic field generated by an input coil 2; and an output member 4 which is connected to the terminals 26, 27 and constitutes a magnetic field sensor capable of generating an electric signal being changeable by the movement of the constituent 3.

公开(公告)号：JP2003133880A

公开(公告)日：2003-05-09

申请号：JP2002192488

申请日：2002-07-01

Applicant: MEMSCAP

Inventor： MHANI AHMED ,  FEDELI JEAN-MARC

IPC: B81B7/02 ,  H01H50/00 ,  H01H59/00 ,  H03H5/12 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS component. SOLUTION: This microelectro-mechanical component 1 formed at the substrate of a semiconductor base, and provided with two input terminals and two output terminals is constituted of a movable element 4 connected to the substrate by at least one deformable part, and provided with a region constituted of ferromagnetic materials, a metallic coil 5 connected to each input terminal or each output terminal 30 and 3, and allowed to magnetically interact with the ferromagnetic region of the movable element 4, and a face forming complementarily oppositely disposed first electrodes 6 connected to one of either each output terminal or each input terminal, and mounted on the movable element 4. The complementary face forms a second electrode connected to the other of either each output terminal or input terminal, and allowed to interact with the first electrodes 6.

公开(公告)号：JP2002158112A

公开(公告)日：2002-05-31

申请号：JP2001276880

申请日：2001-09-12

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC

IPC: H01F10/12 ,  H01F10/32 ,  H01F17/00 ,  H01F17/04

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a minute element for increasing the maximum operating frequency. SOLUTION: The minute element such as a minute inductor (1) comprises metal coil winding (2) in the form of a solenoid, and a magnetic core (4) having a strip (12) formed by a ferromagnetic material. The magnetic core (4) has an additional strip (13) made of the ferromagnetic material. The strip (13) is separated from other strips by a spacer material (14) made of a nonmagnetic material. Also, the thickness of the spacer material is set to the thickness for antiferromagnetically connecting both the strips (12, 13).

公开(公告)号：JP2002093624A

公开(公告)日：2002-03-29

申请号：JP2001222312

申请日：2001-07-23

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC ,  GUILLON BERTRAND

IPC: H01F17/00 ,  H01F17/04 ,  H01F27/34 ,  H01F41/04

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a minute element capable of increasing a maximum operation frequency. SOLUTION: A minute element (1) is a minute inductor or a minute inductive transformer. A metal winding (2) with a form of solenoid, a magnetic core (4) located at the center of the solenoid (2) and having strips (12 and 13) made of ferromagnetic material are provided. A magnetic core (4) is located, in parallel with the strips (12 and 13), and at least one additional layer (14) for generating a magnetic field in a direction vertical to the axis (20) of the solenoid (2) is provided.

公开(公告)号：JP2002050520A

公开(公告)日：2002-02-15

申请号：JP2001197086

申请日：2001-06-28

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC ,  GUILLON BERTRAND

IPC: H01F1/14 ,  H01F3/14 ,  H01F17/00 ,  H01F17/04 ,  H01F27/245 ,  H01F27/34

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an induction microelement, provided with a magnetic core which can act at a specified high frequency. SOLUTION: In this microinductor or an induction microelement (1) such as a microtransformer, a metal winding (2) having a shape of a solenoid and a magnetic core (4) which is positioned at the center of the solenoid (2) are composed of ferromagnetic material are installed. The core (4) is constituted of a plurality of sections (13-16) which are isolated by cutouts (17-19), which are orientated perpendicular to a main axis (20) of the solenoid (2).

公开(公告)号：CA2389820A1

公开(公告)日：2003-01-02

申请号：CA2389820

申请日：2002-06-17

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC ,  MHANI AHMED

IPC: B81B7/02 ,  H01H50/00 ,  H01H59/00 ,  H03H5/12 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/125 ,  B81B3/00

Abstract: Composant microélectromécanique (1) assurant des fonctions de filtrage, réalisé sur un substrat à base de matériau semi-conducteur, et comportant de ux bornes d'entrée et deux bornes de sortie, caractérisé en ce qu'il comporte également : .cndot. un équipage mobile (4) relié au substrat par au moins une portion déformable, et incluant une région réalisée en un matériau ferromagnétique ; .cndot. un bobinage métallique (5) relié aux bornes d'entrée ou de sortie (3 0, 31), apte à interagir magnétiquement avec la région en matériau ferromagnétique de l'équipage mobile (4) ; .cndot. une surface formant une première électrode (6), reliée à une des bornes de sortie ou d'entrée, disposée en regard d'une surface complémentaire solidair e de l'équipage mobile (4), cette surface complémentaire formant une seconde électrode reliée à l'autre des bornes de sortie ou d'entrée, et étant apte à interagir électrostatiquement avec la première électrode (6).

公开(公告)号：CA2357196A1

公开(公告)日：2002-03-12

申请号：CA2357196

申请日：2001-09-11

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC

IPC: H01F10/12 ,  H01F10/32 ,  H01F17/00 ,  H01F17/04 ,  H01F10/00

Abstract: Microcomposant inductif (1), tel que micro-inductance ou microtransformateur, comportant un bobinage métallique (2) ayant la forme d' un solénoïde, et un noyau magnétique (4) incluant un ruban en un matériau ferromagnétique, positionné au centre du solénoïde (2), caractérisé en ce qu e le noyau comporte au moins un ruban supplémentaire en un matériau ferromagnétique (13), séparé de l'autre ruban (12) par une couche de séparation (14) en un matériau amagnétique dont l'épaisseur est telle que les rubans (12,13) situés de part et d'autre de la couche de séparation (14) sont couplés antiferromagnétiquement.

公开(公告)号：CA2352452A1

公开(公告)日：2002-02-04

申请号：CA2352452

申请日：2001-07-10

Applicant: MEMSCAP

Inventor： GUILLON BERTRAND ,  FEDELI JEAN-MARC

IPC: H01F17/00 ,  H01F17/04 ,  H01F27/34 ,  H01F41/04 ,  H01F10/26

Abstract: Microcomposant inductif (1), tel que micro-inductance ou microtransformateur, comportant un bobinage métallique (2) ayant la forme d' un solénoïde, et un noyau magnétique (4) incluant un ruban (13) en un matériau ferromagnétique, positionné au centre du solénoïde (2), caractérisé en ce qu e le noyau (4) comporte au moins une couche additionnelle (14) parallèle au ruban (13), apte à générer un champ magnétique orienté perpendiculairement à l'axe (20) du solénoïde (2).

公开(公告)号：CA2351790A1

公开(公告)日：2001-12-29

申请号：CA2351790

申请日：2001-06-28

Applicant: MEMSCAP

Inventor： FEDELI JEAN-MARC ,  GUILLON BERTRAND

IPC: H01F1/14 ,  H01F3/14 ,  H01F17/00 ,  H01F17/04 ,  H01F27/245 ,  H01F27/34 ,  H01F30/06 ,  H01F27/24

Abstract: Microcomposant inductif (1), tel que micro-inductance ou micro- transformateur, comportant un bobinage métallique (2) ayant la forme d'un solénoïde et un noyau magnétique (4) en un matériau ferromagnétique position né au centre du solénoïde (2), caractérisé en ce que le noyau (4) est constitué de plusieurs tronçons (13-16) séparés par des découpes (17-19) orientées parallèlement à l'axe principal (20) du solénoïde (4).

公开(公告)号：CA2397187A1

公开(公告)日：2003-02-06

申请号：CA2397187

申请日：2002-08-06

Applicant: MEMSCAP

Inventor： MHANI AHMED ,  FEDELI JEAN-MARC

IPC: B81B7/02 ,  H01F21/06 ,  H01F27/00 ,  H03H5/12 ,  H03H7/12 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: Composant microélectromécanique (1) assurant des fonctions de filtrage, réalisé sur un substrat (10) à base de matériau semi-conducteur, et comporta nt deux bornes d'entrée (7, 8) et deux bornes de sortie (26, 27), caractérisé e n ce qu'il comporte également ~ un bobinage métallique d'entrée (2), relié aux bornes d'entrée (7, 8), et apte à générer un champ magnétique lorsqu'il est parcouru par un courant ; ~ un équipage mobile (3), relié au substrat par au moins une portion déformable, et incluant au moins une région (11, 12) réalisée en un matériau ferromagnétique, ledit équipage mobile (3) étant apte à se déplacer sous l'effet de la force subie par la région (11) en matériau ferromagnétique engendrée par le champ magnétique généré par le bobinage d'entrée (2) ; ~ un organe de sortie (4) formant un capteur magnétique, relié aux bornes de sortie (26, 27) et apte à générer un signal de nature électrique qui est variable en fonction du déplacement de l'équipage mobile (3).