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公开(公告)号：FR2924813A1
公开(公告)日：2009-06-12
申请号：FR0759753
申请日：2007-12-11
Applicant: MEMSCAP SA
Inventor： WENK BEATRICE , VENEAU JEAN FRANCOIS , HAMES GREG
IPC: G01P15/02
Abstract: L'invention concerne un accéléromètre pendulaire, comprenant une électrode pendulaire (20) formée dans un substrat (12), au moins une contre-électrode (32) et un capot d'encapsulation (22), caractérisé en ce que la au moins une contre-électrode (32) est formée sous le capot (22), et en ce qu'il comprend des entretoises (52) positionnées entre le capot (22) et le substrat (12).
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