公开(公告)号：FR2924813A1

公开(公告)日：2009-06-12

申请号：FR0759753

申请日：2007-12-11

Applicant: MEMSCAP SA

Inventor： WENK BEATRICE ,  VENEAU JEAN FRANCOIS ,  HAMES GREG

IPC: G01P15/02

Abstract: L'invention concerne un accéléromètre pendulaire, comprenant une électrode pendulaire (20) formée dans un substrat (12), au moins une contre-électrode (32) et un capot d'encapsulation (22), caractérisé en ce que la au moins une contre-électrode (32) est formée sous le capot (22), et en ce qu'il comprend des entretoises (52) positionnées entre le capot (22) et le substrat (12).

公开(公告)号：FR2924856A1

公开(公告)日：2009-06-12

申请号：FR0759751

申请日：2007-12-11

Applicant: MEMSCAP SA

Inventor： WENK BEATRICE

IPC: H01G5/16 ,  G01P15/125

Abstract: L'invention concerne un condensateur à capacité variable comportant un peigne mobile (16, 18) et un peigne fixe (12, 14), chacun des peignes comprenant un corps (20, 38), des dents (50, 52 ; 54, 56 ; 58, 60) ayant des extrémités fixées au corps et des extrémités libres, les dents des peignes mobile et fixe étant interdigitées.Selon l'invention, les dents (50, 52; 54, 56; 58, 60) du peigne mobile (16, 18) présentent entre elles des différences géométriques de manière à atténuer des modes de résonance du peigne mobile.