公开(公告)号：DE112022005755T5

公开(公告)日：2024-09-26

申请号：DE112022005755

申请日：2022-12-02

Applicant: MICROCHIP TECH INC

Inventor： PARK HYONWOOK ,  DAO NAKRI ,  OVERSTREET KIM RICHARD

IPC: H01J3/16 ,  H01J3/02 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/147 ,  H01J37/24 ,  H05H7/08

Abstract: Ein oder mehrere Beispiele beziehen sich allgemein auf eine Einrichtung. Die Einrichtung schließt eine Ladungsteilchenquelle und einen Ladungsteilchenzeiger ein. Der Ladungsteilchenzeiger lenkt die durch die Ladungsteilchenquelle emittierten Ladungsteilchen in eine vorbestimmte Richtung. Der Ladungsteilchenzeiger umfasst einen Reflektor und einen Isolator, der entlang eines Pfads positioniert ist, der sich von dem Reflektor in die vorbestimmte Richtung erstreckt.