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公开(公告)号：CN102349311A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201080010998.3
申请日：2010-02-03
Applicant: NXP股份有限公司
CPC classification number: H04R19/005 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81C1/00182 , H04R1/245 , H04R3/005 , H04R2499/11
Abstract: 本发明涉及一种利用具有第一层(2)的晶片(1)制造微机械麦克风和加速度计的方法，所述方法包括步骤：将所述第一层(2)分为麦克风层(5)和加速度计层(6)，用连续的第二层(7)覆盖麦克风层(5)的前侧和加速度计层(6)的前侧，用第三层(8)覆盖第二层(7)，在第三层(8)中形成多个沟槽(9)，去除麦克风层(5)背部一侧下面的晶片(1)的一部分(10)，在加速度计层(6)背部一侧下面的晶片(1)中形成至少两个晶片沟槽(11)，以及通过在第三层(8)中形成的多个沟槽去除第二层(7)的一部分(12)、(13)。根据本发明的微机械麦克风和加速度计的相对于现有技术的优势在于其允许消除结构自生噪声以便最小化结构本身的声音。
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公开(公告)号：CN102349311B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201080010998.3
申请日：2010-02-03
Applicant: NXP股份有限公司
CPC classification number: H04R19/005 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81C1/00182 , H04R1/245 , H04R3/005 , H04R2499/11
Abstract: 本发明涉及一种利用具有第一层(2)的晶片(1)制造微机械麦克风和加速度计的方法，所述方法包括步骤：将所述第一层(2)分为麦克风层(5)和加速度计层(6)，用连续的第二层(7)覆盖麦克风层(5)的前侧和加速度计层(6)的前侧，用第三层(8)覆盖第二层(7)，在第三层(8)中形成多个沟槽(9)，去除麦克风层(5)背部一侧下面的晶片(1)的一部分(10)，在加速度计层(6)背部一侧下面的晶片(1)中形成至少两个晶片沟槽(11)，以及通过在第三层(8)中形成的多个沟槽去除第二层(7)的一部分(12)、(13)。根据本发明的微机械麦克风和加速度计的相对于现有技术的优势在于其允许消除结构自生噪声以便最小化结构本身的声音。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102762992B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201180008725.X
申请日：2011-01-25
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 海尔特·伦格瑞斯 , 伊丽丝·博米纳-西尔金斯 , 特温·范利庞
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/084 , H04R19/005
Abstract: MEMS加速计使用两个电极层之间的电容性传感。电极层之一具有配置为两对电极的至少四个独立电极，一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得可以检测隔膜的倾斜和隔膜的法向移动。按照这种方式，可以由单独的悬置质量体形成三轴加速计，并且通过使用都在相同平面内的一组电容器电极。这意味着制造是简单的，并且与诸如MEMS麦克风之类的其他MEMS制造工艺兼容。
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公开(公告)号：CN102470396B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080029537.0
申请日：2010-06-30
Applicant: NXP股份有限公司
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292 , G01L9/0072 , H04R7/12 , H04R19/04 , H04R31/006
Abstract: 一种电容性传感器，配置用于塌陷模式，例如用于测量声音或压力，其中可移动元件被分割成较小部分。该电容性传感器提供了增大的信噪比。
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公开(公告)号：CN102762992A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201180008725.X
申请日：2011-01-25
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 海尔特·伦格瑞斯 , 伊丽丝·博米纳-西尔金斯 , 特温·范利庞
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/084 , H04R19/005
Abstract: MEMS加速计使用两个电极层之间的电容性传感。电极层之一具有配置为两对电极的至少四个独立电极，一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得可以检测隔膜的倾斜和隔膜的法向移动。按照这种方式，可以由单独的悬置质量体形成三轴加速计，并且通过使用都在相同平面内的一组电容器电极。这意味着制造是简单的，并且与诸如MEMS麦克风之类的其他MEMS制造工艺兼容。
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公开(公告)号：CN102470396A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029537.0
申请日：2010-06-30
Applicant: NXP股份有限公司
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292 , G01L9/0072 , H04R7/12 , H04R19/04 , H04R31/006
Abstract: 一种电容性传感器，配置用于塌陷模式，例如用于测量声音或压力，其中可移动元件被分割成较小部分。该电容性传感器提供了增大的信噪比。
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公开(公告)号：CN102045615A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010518346.2
申请日：2010-10-20
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 伊丽丝·博尼马-西尔金斯 , 西玛·塔拉松 , 雷姆科·皮亚恩伯格 , 特温·范利庞 , 海尔特·伦格瑞斯
IPC: H04R1/08
CPC classification number: H04R19/005 , H04R3/002 , H04R19/04 , H04R2499/11 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供了一种麦克风以及一种制造这种麦克风的方法。麦克风包括：衬底管芯(24)；以及从衬底管芯形成的麦克风(20)和加速度计(22)。加速度计适于提供用于对衬底管芯的机械振动加以补偿的信号。
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